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EV-M502NEBARA荏原 EV-M干式真空泵
參考價: 10000
訂貨量: 1
具體成交價以合同協(xié)議為準
  • EV-M502N 產(chǎn)品型號
  • EBARA/荏原 品牌
  • 經(jīng)銷商 廠商性質
  • 成都市 所在地

訪問次數(shù):46更新時間:2025-03-21 15:26:20

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產(chǎn)品簡介
泵軸位置 其他 輸送介質 其他
葉輪數(shù)目 其他 應用領域 環(huán)保,化工,能源,電氣,綜合
EBARA荏原 EV-M干式真空泵
EV-M型可應用于在半導體,、液晶和太陽能電池制造工藝中有副產(chǎn)物生成的重制程工藝。同時兼顧了對重制程工藝和節(jié)能的需求,實現(xiàn)了停機風險的減少和運行成本的降低,。
產(chǎn)品介紹

EBARA荏原 EV-M干式真空泵

EV-M型可應用于在半導體,、液晶和太陽能電池制造工藝中有副產(chǎn)物生成的重制程工藝。同時兼顧了對重制程工藝和節(jié)能的需求,,實現(xiàn)了停機風險的減少和運行成本的降低,。

EBARA荏原 EV-M干式真空泵

通過大范圍的溫度控制,擴大了適用工藝范圍,。因同一機型能夠覆蓋多種工藝,,能夠優(yōu)化備用設備的庫存,減少用于維護和培訓的人力時間,,并且能夠靈活應對未來的工藝擴展,。

產(chǎn)品系列豐富,可應對多種工藝,、抽氣速率需求,;

●兼顧高負荷與低功耗;

●可應對腐蝕性氣體(標配耐腐蝕材料),。


核心技術特性

無油設計:采用多級壓縮或爪式/螺桿式轉子結構,,通過精密機械密封實現(xiàn)無油運行,避免油蒸氣污染,,適合潔凈環(huán)境(如半導體,、生物實驗室)。

耐腐蝕材料:核心部件使用不銹鋼,、陶瓷涂層或特殊合金,,可耐受腐蝕性氣體(如酸性、堿性介質),。

高效節(jié)能:優(yōu)化轉子動力學設計,,能耗較傳統(tǒng)油式泵降低30%~50%,支持變頻調速(20%~100%流量調節(jié)),。

低維護成本:無需定期更換油液,,維護周期長達8,000~12,000小時,顯著減少停機時間,。


用戶體驗與核心優(yōu)勢

潔凈無污染:消除油蒸氣反流問題,,保護工藝介質與產(chǎn)品質量。

低噪音運行:噪聲水平<65 dB(A),,適合實驗室及潔凈車間環(huán)境,。

智能監(jiān)控:集成壓力傳感器與物聯(lián)網(wǎng)模塊,實時監(jiān)測真空度、溫度,、振動,,支持遠程報警與故障診斷。

模塊化設計:支持多泵并聯(lián)或與分子泵,、羅茨泵組成復合真空系統(tǒng),,覆蓋0.1 Pa~1000 Pa寬范圍真空需求。



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