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EV-S100PEBARA荏原 EV-S干式真空泵
參考價(jià): 10000
訂貨量: 1
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • EV-S100P 產(chǎn)品型號(hào)
  • EBARA/荏原 品牌
  • 經(jīng)銷商 廠商性質(zhì)
  • 成都市 所在地

訪問(wèn)次數(shù):42更新時(shí)間:2025-03-21 15:16:39

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介
泵軸位置 其他 輸送介質(zhì) 其他
葉輪數(shù)目 其他 應(yīng)用領(lǐng)域 環(huán)保,化工,能源,電氣,綜合
EBARA荏原 EV-S干式真空泵
S型為獨(dú)立安裝的羅茨型干泵,,有著從輕制程工藝(如:load lock,、SEM)到腐蝕性工藝的廣泛應(yīng)用范圍,。擁有抽氣速率可變,、通信功能等豐富附加功能的同時(shí),實(shí)現(xiàn)了“ 低能耗,、占地小,、輕量化 “。
產(chǎn)品介紹

EBARA荏原 EV-S干式真空泵

S型為獨(dú)立安裝的羅茨型干泵,有著從輕制程工藝(如:load lock,、SEM)到腐蝕性工藝的廣泛應(yīng)用范圍,。擁有抽氣速率可變、通信功能等豐富附加功能的同時(shí),,實(shí)現(xiàn)了“ 低能耗,、占地小、輕量化 “,。

EBARA荏原 EV-S干式真空泵

通過(guò)大范圍的溫度控制,,擴(kuò)大了適用工藝范圍,。因同一機(jī)型能夠覆蓋多種工藝,,能夠優(yōu)化備用設(shè)備的庫(kù)存,減少用于維護(hù)和培訓(xùn)的人力時(shí)間,,并且能夠靈活應(yīng)對(duì)未來(lái)的工藝擴(kuò)展,。

●在“低能耗、占地小,、輕量化"方面達(dá)到業(yè)內(nèi)前列的水平,;

●耐腐蝕材料、氮?dú)獯祾吖δ埽蛇x),;

●在不同頻率(50/60Hz)下性能一致,;

●通過(guò)增強(qiáng)的傳感功能減少停機(jī)時(shí)間。


核心技術(shù)特性

無(wú)油設(shè)計(jì):采用多級(jí)壓縮或爪式/螺桿式轉(zhuǎn)子結(jié)構(gòu),,通過(guò)精密機(jī)械密封實(shí)現(xiàn)無(wú)油運(yùn)行,,避免油蒸氣污染,適合潔凈環(huán)境(如半導(dǎo)體,、生物實(shí)驗(yàn)室),。

耐腐蝕材料:核心部件使用不銹鋼、陶瓷涂層或特殊合金,,可耐受腐蝕性氣體(如酸性,、堿性介質(zhì))。

高效節(jié)能:優(yōu)化轉(zhuǎn)子動(dòng)力學(xué)設(shè)計(jì),,能耗較傳統(tǒng)油式泵降低30%~50%,,支持變頻調(diào)速(20%~100%流量調(diào)節(jié))。

低維護(hù)成本:無(wú)需定期更換油液,,維護(hù)周期長(zhǎng)達(dá)8,000~12,000小時(shí),,顯著減少停機(jī)時(shí)間。


用戶體驗(yàn)與核心優(yōu)勢(shì)

潔凈無(wú)污染:消除油蒸氣反流問(wèn)題,,保護(hù)工藝介質(zhì)與產(chǎn)品質(zhì)量,。

低噪音運(yùn)行:噪聲水平<65 dB(A),適合實(shí)驗(yàn)室及潔凈車間環(huán)境。

智能監(jiān)控:集成壓力傳感器與物聯(lián)網(wǎng)模塊,,實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)真空度,、溫度、振動(dòng),,支持遠(yuǎn)程報(bào)警與故障診斷,。

模塊化設(shè)計(jì):支持多泵并聯(lián)或與分子泵、羅茨泵組成復(fù)合真空系統(tǒng),,覆蓋0.1 Pa~1000 Pa寬范圍真空需求,。



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