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泵軸位置 | 其他 | 輸送介質 | 其他 |
---|---|---|---|
葉輪數目 | 其他 | 應用領域 | 環(huán)保,化工,能源,電氣,綜合 |
作為中等負荷工藝專用的干式真空泵,,搭載荏原的節(jié)能技術,,采用面向自動化工廠制造的優(yōu)化模塊設計,并進一步實現(xiàn)了小型化和節(jié)能,。
EBARA荏原 EV-X干式真空泵
作為中等負荷工藝專用的干式真空泵,,搭載荏原的節(jié)能技術,,采用面向自動化工廠制造的優(yōu)化模塊設計,并進一步實現(xiàn)了小型化和節(jié)能,。
EBARA荏原 EV-X干式真空泵
通過大范圍的溫度控制,,擴大了適用工藝范圍。因同一機型能夠覆蓋多種工藝,,能夠優(yōu)化備用設備的庫存,,減少用于維護和培訓的人力時間,,并且能夠靈活應對未來的工藝擴展,。
●以大幅的溫度控制實現(xiàn)大范圍的工藝覆蓋;
●低能耗,、占地?。?/p>
●可耐受腐蝕性氣體(采用標準耐腐蝕材料),;
●適用案例:各種蝕刻以及CVD,、灰化、離子注入,、外延生長等
核心技術特性
無油設計:采用多級壓縮或爪式/螺桿式轉子結構,,通過精密機械密封實現(xiàn)無油運行,避免油蒸氣污染,,適合潔凈環(huán)境(如半導體,、生物實驗室)。
耐腐蝕材料:核心部件使用不銹鋼,、陶瓷涂層或特殊合金,,可耐受腐蝕性氣體(如酸性、堿性介質),。
高效節(jié)能:優(yōu)化轉子動力學設計,,能耗較傳統(tǒng)油式泵降低30%~50%,支持變頻調速(20%~100%流量調節(jié)),。
低維護成本:無需定期更換油液,,維護周期長達8,000~12,000小時,顯著減少停機時間,。
用戶體驗與核心優(yōu)勢
潔凈無污染:消除油蒸氣反流問題,,保護工藝介質與產品質量。
低噪音運行:噪聲水平<65 dB(A),,適合實驗室及潔凈車間環(huán)境,。
智能監(jiān)控:集成壓力傳感器與物聯(lián)網模塊,實時監(jiān)測真空度,、溫度,、振動,支持遠程報警與故障診斷。
模塊化設計:支持多泵并聯(lián)或與分子泵,、羅茨泵組成復合真空系統(tǒng),,覆蓋0.1 Pa~1000 Pa寬范圍真空需求。