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【高斯摩分享】 渦旋式干式真空泵

2025-6-3  閱讀(49)

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ULVAC愛發(fā)科

渦旋式干式真空泵

什么是渦旋式干式真空泵,?

兩個形狀相同的渦旋盤在中心位置略微偏移,使得它們的壁彼此呈線接觸,,并且一個渦旋盤相對于另一個渦旋盤進行相對振蕩研磨運動,。被困在新月形空間中的氣體被壓縮向中心,并從中心的孔中排出,。

 

渦旋式干式真空泵的特點

 從吸入口引入的氣體通過與固定渦旋盤重疊的動渦旋盤,,從渦旋盤外部向內(nèi)部被壓縮。壓縮過程通常設(shè)計為兩次或多次進行,,從而降低振動和噪音水平,。極限壓力可達1Pa。

【優(yōu)點】比羅茨真空泵體積更小,、價格更便宜,。

【缺點】渦旋前端的密封圈磨損。

 

渦旋式干式真空泵的工作原理

 兩個形狀相同的渦旋盤在中心位置略微偏移,,使得它們的壁彼此呈線接觸,,并且一個渦旋盤相對于另一個渦旋盤進行相對振蕩研磨運動。被困在新月形空間中的氣體被壓縮向中心,,并從中心的孔中排出,。

渦旋式干式真空泵的主要應(yīng)用

 真空干燥設(shè)備、理化分析設(shè)備,、真空吸附輸送設(shè)備,、真空熱處理爐等。

 

應(yīng)用行業(yè):

?半導體制造,、食品行業(yè),、藥品行業(yè)、化妝品行業(yè),、?太陽能光伏行業(yè),、

?半導體:用于晶圓加工、刻蝕,、薄膜沉積等環(huán)節(jié),,化學氣相沉積(CVD)過程。

渦旋干泵可以實現(xiàn)真空輸送,,適用于粉末,、顆粒等物料的輸送。

?真空干燥與包裝?:在食品,、藥品,、化妝品等行業(yè)的真空冷凍干燥過程中,,渦旋干泵可以有效脫水,保持產(chǎn)品形狀和質(zhì)量,;同時,,它還用于食品、電子產(chǎn)品等領(lǐng)域的真空包裝過程,,延長產(chǎn)品保質(zhì)期,。

?太陽能光伏?:在太陽能光伏行業(yè)中,渦旋干泵用于真空封裝,、真空燒結(jié)等工藝,,提高光伏電池的效率和穩(wěn)定性。?

?食品行業(yè)?:在食品加工中,,渦旋式干式真空泵用于食品的干燥,、脫水和包裝等環(huán)節(jié)。

?制藥行業(yè)?:在藥品生產(chǎn)中,,渦旋式干式真空泵用于原料藥的干燥,、結(jié)晶和分離等過程。

?化工行業(yè)?:在化工生產(chǎn)中,,渦旋式干式真空泵用于聚合反應(yīng),、蒸餾、干燥等工藝,。在聚合反應(yīng)中,,該泵可以排除反應(yīng)體系中的空氣和水分,防止反應(yīng)受到干擾?,。

?科研領(lǐng)域:真空鍍膜,、材料科學研究中的高真空熱處理等。低溫物理實驗,、高真空環(huán)境下的化學反應(yīng)等,。

環(huán)保工程:渦旋式干式真空泵用于廢氣處理和真空吸附過程,去除有害氣體和污染物,。


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