現(xiàn)貨庫存：日本USHIO牛尾分割投影光刻機(jī)UX-5894SC

現(xiàn)貨庫存：日本USHIO牛尾分割投影光刻機(jī)UX-5894SC

高分辨率：USHIO 牛尾的投影式光刻機(jī)通常采用專業(yè)開發(fā)的高輸出燈以及設(shè)計的投影鏡片，可實現(xiàn)高效率的高解析度曝光,，分割投影技術(shù)可能進(jìn)一步優(yōu)化了分辨率,，以滿足更精細(xì)的光刻需求。

大口徑投影鏡片：可能配備大口徑投影鏡片,，像其常規(guī)投影式光刻機(jī)一樣,，有助于大幅提高良品率，并達(dá)到高產(chǎn)能,。

深焦點(diǎn)深度：焦點(diǎn)深度較深,，厚膜光阻與變形膠卷均能適用，也可對非平面晶圓進(jìn)行適當(dāng)曝光,，在分割投影時也能保證各部分曝光的準(zhǔn)確性和一致性,。

自動對焦與對準(zhǔn)：具備自動對焦機(jī)能和高精度的對準(zhǔn)系統(tǒng)，如采用 TTL 非曝光波長對準(zhǔn)系統(tǒng),，可通過圖像處理檢測并固定掩模和工件的對準(zhǔn)標(biāo)記,，即使是整體涂鉻的小掩模也能輕易識別工作記號，還能自動檢測基板伸縮導(dǎo)致的圖案變化并調(diào)整投影倍率,，確保分割投影時圖案的精確對準(zhǔn)和拼接,。

適用多種基板：可適用于多種類型的基板，如玻璃基板,、陶瓷基板,、印刷電路板等，以及寬幅及薄型膠卷,，分割投影技術(shù)不會對基板的適用性造成限制,，反而可能增強(qiáng)對不同形狀和尺寸基板的處理能力。

高均勻性照明：照明光學(xué)系統(tǒng)能有效集中光源發(fā)出的光,，以高度均勻,、高平行的方式照射掩模，通過在鏡面上實施特殊涂裝,，可選擇曝光波長并阻隔熱線,，保證分割投影區(qū)域內(nèi)的照明均勻性，提高光刻圖案的質(zhì)量。

掩模損傷?。和队捌毓夥绞綗o需掩模與工件接觸,，可避免掩模損傷，在分割投影過程中,，同樣能保護(hù)掩模,，減少因掩模損壞導(dǎo)致的光刻誤差和成本增加。

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