KASHIYAMA日本樫山真空泵MU600XE的特點(diǎn)

無油潔凈：采用無油運(yùn)轉(zhuǎn)設(shè)計(jì),，避免了油對工藝腔體的污染，可確保環(huán)境潔凈無殘留,，適用于對潔凈度要求的半導(dǎo)體,、液晶、LED 及太陽能光伏等行業(yè),。

抽速高：最大抽速可達(dá) 10,000L/min,。能快速有效地抽取氣體，可滿足中高負(fù)載的真空需求,，能縮短設(shè)備的抽氣時(shí)間,，提高生產(chǎn)效率。

極限壓力低：極限壓力為 0.5Pa,，可獲得較高的真空度,，能滿足對真空環(huán)境要求苛刻的工藝需求，如高精度的半導(dǎo)體鍍膜工藝等,。

節(jié)能環(huán)保：配備低功耗電機(jī),，功率約 0.6kW,，運(yùn)行能效比優(yōu)于同類產(chǎn)品，可降低能耗與運(yùn)行成本,。

結(jié)構(gòu)緊湊：尺寸為 530×230×520mm,，重量約 120kg，占地面積小,，便于安裝在空間有限的設(shè)備中,，適合設(shè)備集成和改造項(xiàng)目。

維護(hù)便捷：采用模塊化結(jié)構(gòu),，檢修流程簡單,，無需復(fù)雜的拆卸和組裝過程，可降低維護(hù)成本和停機(jī)時(shí)間,。

電源適應(yīng)性強(qiáng)：電源為三相 AC200–220V,，50/60Hz，能適應(yīng)多種電力供應(yīng)環(huán)境,，方便在不同地區(qū)和場合使用,。

運(yùn)行穩(wěn)定：摩擦部件少，可承受連續(xù)運(yùn)轉(zhuǎn),，不易出現(xiàn)故障,，且噪音低、振動(dòng)小,，連續(xù)排氣無脈動(dòng),，能為工作環(huán)境提供較好的條件。