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40次KASHIYAMA日本樫山真空泵MU100XE的特點(diǎn)
無油潔凈：采用無油干式設(shè)計，無需油封,，避免了油蒸汽對環(huán)境和工藝的污染,，特別適合在對潔凈度要求的潔凈室環(huán)境以及敏感工藝中使用，如半導(dǎo)體制造,、液晶顯示器生產(chǎn),、LED 制造和光伏產(chǎn)業(yè)等。
高抽速,、低能耗：運(yùn)用優(yōu)化的 Roots 轉(zhuǎn)子結(jié)構(gòu),，能提供高達(dá) 1660L/min 的穩(wěn)定抽速，可滿足中高負(fù)載的真空需求,。同時配備低功耗電機(jī),，運(yùn)行能效比優(yōu)于同類產(chǎn)品，功率約 0.25kW,，在實(shí)現(xiàn)高效抽氣的同時降低了能耗,。
結(jié)構(gòu)緊湊：尺寸為 450×230×275mm，體積小巧,，重量約 60kg,，占地面積小,，便于集成到空間受限的自動化設(shè)備或成套系統(tǒng)中，適合設(shè)備集成和改造項目,。
維護(hù)便捷：部件壽命長,，維護(hù)周期長，且采用易于維護(hù)的設(shè)計,，降低了維護(hù)成本和停機(jī)時間,，能有效減少運(yùn)營成本。
適配性強(qiáng)：可兼容多種工藝氣體環(huán)境,，適用于化學(xué)氣相沉積（CVD）,、物理氣相沉積（PVD）、刻蝕,、封裝等多種半導(dǎo)體及相關(guān)行業(yè)的工藝流程,，具有很強(qiáng)的通用性和適應(yīng)性。
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