您好, 歡迎來到化工儀器網(wǎng),! 登錄| 免費(fèi)注冊| 產(chǎn)品展廳| 收藏商鋪|
提供商
湖南中村貿(mào)易有限公司資料大小
1.1MB資料圖片
查看下載次數(shù)
0次資料類型
PDF 文件瀏覽次數(shù)
40次KASHIYAMA日本樫山真空泵MU100XE的特點(diǎn)
無油潔凈:采用無油干式設(shè)計,無需油封,,避免了油蒸汽對環(huán)境和工藝的污染,,特別適合在對潔凈度要求的潔凈室環(huán)境以及敏感工藝中使用,如半導(dǎo)體制造,、液晶顯示器生產(chǎn),、LED 制造和光伏產(chǎn)業(yè)等。
高抽速,、低能耗:運(yùn)用優(yōu)化的 Roots 轉(zhuǎn)子結(jié)構(gòu),,能提供高達(dá) 1660L/min 的穩(wěn)定抽速,可滿足中高負(fù)載的真空需求,。同時配備低功耗電機(jī),,運(yùn)行能效比優(yōu)于同類產(chǎn)品,功率約 0.25kW,,在實(shí)現(xiàn)高效抽氣的同時降低了能耗,。
結(jié)構(gòu)緊湊:尺寸為 450×230×275mm,體積小巧,,重量約 60kg,,占地面積小,,便于集成到空間受限的自動化設(shè)備或成套系統(tǒng)中,適合設(shè)備集成和改造項目,。
維護(hù)便捷:部件壽命長,,維護(hù)周期長,且采用易于維護(hù)的設(shè)計,,降低了維護(hù)成本和停機(jī)時間,,能有效減少運(yùn)營成本。
適配性強(qiáng):可兼容多種工藝氣體環(huán)境,,適用于化學(xué)氣相沉積(CVD),、物理氣相沉積(PVD)、刻蝕,、封裝等多種半導(dǎo)體及相關(guān)行業(yè)的工藝流程,,具有很強(qiáng)的通用性和適應(yīng)性。
請輸入賬號
請輸入密碼
請輸驗(yàn)證碼
以上信息由企業(yè)自行提供,,信息內(nèi)容的真實(shí)性、準(zhǔn)確性和合法性由相關(guān)企業(yè)負(fù)責(zé),,化工儀器網(wǎng)對此不承擔(dān)任何保證責(zé)任,。
溫馨提示:為規(guī)避購買風(fēng)險,建議您在購買產(chǎn)品前務(wù)必確認(rèn)供應(yīng)商資質(zhì)及產(chǎn)品質(zhì)量,。