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KASHIYAMA日本樫山真空泵MUP1200E的特點
無油干式運行:采用無潤滑油機械結(jié)構(gòu),,避免了油蒸氣對工藝環(huán)境的污染,,特別適用于對潔凈度要求場合,,如半導(dǎo)體制造,、液晶顯示制造等,。
抽氣能力強:最大抽速可達 20,000L/min,,能快速有效地抽取氣體,可滿足不同應(yīng)用場景對真空度的需求,。
極限真空度高:極限壓力可達到 0.1Pa 甚至更低,,能夠提供高真空環(huán)境,滿足如半導(dǎo)體工藝中一些對真空度要求嚴苛的工藝步驟,。
氮氣吹掃功能:支持氮氣吹掃,,氮氣流量可在一定范圍內(nèi)調(diào)節(jié),通常能在 0 至 60SLM 范圍內(nèi),,增強了工藝的靈活性,,可用于一些需要對腔體進行吹掃或保護的工藝。
高效節(jié)能:通過優(yōu)化機械結(jié)構(gòu)和采用新型加熱器系統(tǒng)等措施,,實現(xiàn)了低功耗化,,功率一般為 1.05kW 左右,相比一些傳統(tǒng)真空泵能耗更低,。
小型化設(shè)計:外形尺寸較為緊湊,,例如 MUP1200E 的尺寸約為 820×380×655mm,機身小巧,,節(jié)省安裝空間,,便于集成到各種設(shè)備或系統(tǒng)中。
冷卻水需求低:冷卻水流量僅需約 2L/min,,對冷卻系統(tǒng)的要求不高,,可降低運行成本和設(shè)備復(fù)雜度,。
安全可靠:符合工業(yè)安全標準,配備高安全性防護設(shè)計,,如過載保護,、過熱保護等裝置,能在各種工況下穩(wěn)定運行,,減少故障和意外發(fā)生的可能性,。
產(chǎn)品兼容性好:支持與同系列設(shè)備協(xié)同工作,可擴展應(yīng)用場景,,能與其他型號的樫山真空泵或相關(guān)設(shè)備搭配使用,,以滿足不同規(guī)模和復(fù)雜程度的真空系統(tǒng)需求。
應(yīng)用領(lǐng)域廣泛:適用于化工,、電子 / 電池,、半導(dǎo)體制造、實驗室等眾多領(lǐng)域,,可用于晶圓加工,、蝕刻、鍍膜等關(guān)鍵工藝的真空環(huán)境控制,,以及高純度實驗環(huán)境及腐蝕性氣體處理,。
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