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39次KASHIYAMA日本樫山真空泵MUP1200E的特點(diǎn)
無(wú)油干式運(yùn)行:采用無(wú)潤(rùn)滑油機(jī)械結(jié)構(gòu),,避免了油蒸氣對(duì)工藝環(huán)境的污染,特別適用于對(duì)潔凈度要求場(chǎng)合,,如半導(dǎo)體制造,、液晶顯示制造等。
抽氣能力強(qiáng):最大抽速可達(dá) 20,000L/min,,能快速有效地抽取氣體,,可滿足不同應(yīng)用場(chǎng)景對(duì)真空度的需求。
極限真空度高:極限壓力可達(dá)到 0.1Pa 甚至更低,,能夠提供高真空環(huán)境,,滿足如半導(dǎo)體工藝中一些對(duì)真空度要求嚴(yán)苛的工藝步驟。
氮?dú)獯祾吖δ埽褐С值獨(dú)獯祾?,氮?dú)饬髁靠稍谝欢ǚ秶鷥?nèi)調(diào)節(jié),,通常能在 0 至 60SLM 范圍內(nèi),增強(qiáng)了工藝的靈活性,,可用于一些需要對(duì)腔體進(jìn)行吹掃或保護(hù)的工藝,。
高效節(jié)能:通過(guò)優(yōu)化機(jī)械結(jié)構(gòu)和采用新型加熱器系統(tǒng)等措施,實(shí)現(xiàn)了低功耗化,,功率一般為 1.05kW 左右,,相比一些傳統(tǒng)真空泵能耗更低。
小型化設(shè)計(jì):外形尺寸較為緊湊,,例如 MUP1200E 的尺寸約為 820×380×655mm,,機(jī)身小巧,節(jié)省安裝空間,,便于集成到各種設(shè)備或系統(tǒng)中,。
冷卻水需求低:冷卻水流量?jī)H需約 2L/min,對(duì)冷卻系統(tǒng)的要求不高,,可降低運(yùn)行成本和設(shè)備復(fù)雜度,。
安全可靠:符合工業(yè)安全標(biāo)準(zhǔn),配備高安全性防護(hù)設(shè)計(jì),如過(guò)載保護(hù),、過(guò)熱保護(hù)等裝置,,能在各種工況下穩(wěn)定運(yùn)行,減少故障和意外發(fā)生的可能性,。
產(chǎn)品兼容性好:支持與同系列設(shè)備協(xié)同工作,,可擴(kuò)展應(yīng)用場(chǎng)景,能與其他型號(hào)的樫山真空泵或相關(guān)設(shè)備搭配使用,,以滿足不同規(guī)模和復(fù)雜程度的真空系統(tǒng)需求,。
應(yīng)用領(lǐng)域廣泛:適用于化工、電子 / 電池,、半導(dǎo)體制造,、實(shí)驗(yàn)室等眾多領(lǐng)域,可用于晶圓加工,、蝕刻,、鍍膜等關(guān)鍵工藝的真空環(huán)境控制,以及高純度實(shí)驗(yàn)環(huán)境及腐蝕性氣體處理,。
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