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KASHIYAMA日本樫山真空泵SDE120TX的特點(diǎn)

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KASHIYAMA日本樫山真空泵SDE120TX的特點(diǎn)

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抽速大:最大抽速可達(dá) 1500L/min,,能快速抽取氣體,,可滿足半導(dǎo)體、光電顯示等行業(yè)苛刻工藝對(duì)真空效率的高要求,。

極限壓力低:極限真空度低至 1.3Pa,,在不使用氮?dú)獯祾叩那闆r下也能維持高性能穩(wěn)定運(yùn)行,可提供高真空度環(huán)境,。

干式運(yùn)行:采用無(wú)油結(jié)構(gòu),,避免了油污染風(fēng)險(xiǎn),特別適用于潔凈室環(huán)境和對(duì)純度要求高的工藝,。

結(jié)構(gòu)可靠:垂直安裝的雙螺桿結(jié)構(gòu)可有效防止顆粒堆積,,延長(zhǎng)泵體使用壽命,提高了運(yùn)行的穩(wěn)定性和可靠性,。

耐腐蝕性強(qiáng):配備高耐腐蝕材料與溫控系統(tǒng),,能夠適應(yīng)處理腐蝕性和反應(yīng)性氣體,可在惡劣的工藝環(huán)境中穩(wěn)定工作,。

防止冷凝積碳:前級(jí)加熱排氣配管系統(tǒng)可防止冷凝和積碳,,增強(qiáng)了系統(tǒng)的穩(wěn)定性。

溫度控制靈活:多級(jí)溫控系統(tǒng)可根據(jù)不同應(yīng)用調(diào)節(jié)泵體溫度,,提高了泵對(duì)不同工藝的兼容性,。

環(huán)保性能好:除害裝置聯(lián)動(dòng)接口支持等離子、燃燒,、冷凝等除害方式接入,,提升了環(huán)保性能,,便于對(duì)排出氣體進(jìn)行處理。

便于監(jiān)控:遠(yuǎn)程監(jiān)控與報(bào)警系統(tǒng)可實(shí)時(shí)掌握泵體運(yùn)行狀態(tài),,便于系統(tǒng)集成與自動(dòng)化管理,,能及時(shí)發(fā)現(xiàn)并處理問(wèn)題。

噪音低:運(yùn)行時(shí)產(chǎn)生的噪音僅為 56dB(A),,有助于營(yíng)造相對(duì)安靜的工作環(huán)境,。



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