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KASHIYAMA日本樫山真空泵SDE90X的特點
大抽氣速率：抽氣速率為 58L/s，最大抽速可達 1300L/min,，能夠快速有效地抽取氣體,，適用于需要大排量抽氣的應用場景，如大尺寸晶圓和 FPD 基板的處理,。
節(jié)能：屬于節(jié)能型產(chǎn)品,，功率為 1.3kW，相比傳統(tǒng)類型可降低 54% 的功耗,，通過參數(shù)優(yōu)化,，在保證性能的同時實現(xiàn)了能源的有效利用。
極限壓力低：極限壓力可達 57Pa,，能提供較高的真空度,，滿足對真空環(huán)境要求較高的工藝需求。
耐用性強：SDE-X 系列注重在惡劣工藝條件下的耐用性,，采用耐腐蝕的結(jié)構(gòu)材料并具備溫度控制功能,，可承受各種復雜的工藝流程，適合連續(xù)運轉(zhuǎn),，減少故障發(fā)生頻率,。
適應性廣：可通過各種設置來適應廣泛的工藝需求，對于含有水蒸氣或水滴的氣體,、易燃或腐蝕性氣體等都能夠有效排出,。
噪音低、振動?。哼\行時產(chǎn)生的噪音和振動較小,，有助于營造相對安靜的工作環(huán)境，同時也減少了對周邊設備和環(huán)境的影響。
維護方便：軸封采用機械密封,，這種設計便于維護和保養(yǎng),，降低了維護成本和停機時間。
結(jié)構(gòu)緊湊：外形尺寸為 370mm×557mm×690mm,，重量為 32kg,，整體結(jié)構(gòu)緊湊、重量輕,，便于安裝和集成到各種設備中,。
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