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36次KASHIYAMA日本樫山真空泵SDE90X的特點(diǎn)
大抽氣速率:抽氣速率為 58L/s,,最大抽速可達(dá) 1300L/min,,能夠快速有效地抽取氣體,適用于需要大排量抽氣的應(yīng)用場(chǎng)景,,如大尺寸晶圓和 FPD 基板的處理,。
節(jié)能:屬于節(jié)能型產(chǎn)品,功率為 1.3kW,,相比傳統(tǒng)類型可降低 54% 的功耗,,通過(guò)參數(shù)優(yōu)化,在保證性能的同時(shí)實(shí)現(xiàn)了能源的有效利用,。
極限壓力低:極限壓力可達(dá) 57Pa,,能提供較高的真空度,滿足對(duì)真空環(huán)境要求較高的工藝需求,。
耐用性強(qiáng):SDE-X 系列注重在惡劣工藝條件下的耐用性,,采用耐腐蝕的結(jié)構(gòu)材料并具備溫度控制功能,可承受各種復(fù)雜的工藝流程,,適合連續(xù)運(yùn)轉(zhuǎn),,減少故障發(fā)生頻率。
適應(yīng)性廣:可通過(guò)各種設(shè)置來(lái)適應(yīng)廣泛的工藝需求,,對(duì)于含有水蒸氣或水滴的氣體,、易燃或腐蝕性氣體等都能夠有效排出。
噪音低,、振動(dòng)?。哼\(yùn)行時(shí)產(chǎn)生的噪音和振動(dòng)較小,有助于營(yíng)造相對(duì)安靜的工作環(huán)境,,同時(shí)也減少了對(duì)周邊設(shè)備和環(huán)境的影響,。
維護(hù)方便:軸封采用機(jī)械密封,這種設(shè)計(jì)便于維護(hù)和保養(yǎng),,降低了維護(hù)成本和停機(jī)時(shí)間,。
結(jié)構(gòu)緊湊:外形尺寸為 370mm×557mm×690mm,,重量為 32kg,整體結(jié)構(gòu)緊湊,、重量輕,,便于安裝和集成到各種設(shè)備中。
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