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46次KASHIYAMA日本樫山真空泵SDH6000的特點(diǎn)
工藝耐性強(qiáng):屬于 SDH 系列,具有 Super Hirsch 對應(yīng)和工藝耐性的特點(diǎn),能適應(yīng)各種復(fù)雜工藝環(huán)境。
無油干式設(shè)計(jì):采用無潤滑油機(jī)械結(jié)構(gòu),可避免介質(zhì)污染,,適用于超潔凈工藝環(huán)境,如半導(dǎo)體晶圓制造等,。
氮?dú)獯祾吖δ埽褐С值獨(dú)獯祾吖δ?,氮?dú)饬髁靠稍?0 至 80SLM 范圍內(nèi)調(diào)節(jié),增強(qiáng)工藝靈活性,。
抽氣能力強(qiáng):最大抽速可達(dá) 60,000L/min,,極限壓力為 0.5Pa,能快速有效地抽取氣體,,滿足不同應(yīng)用場景的真空需求,。
高效節(jié)能:通過新型加熱器系統(tǒng)與機(jī)械結(jié)構(gòu)優(yōu)化,實(shí)現(xiàn)低功耗化,,功率為 3.7kW,。
外形尺寸較大但仍緊湊:長度為 1050mm、寬度為 515mm,,高度為 950mm,,機(jī)身相對較大,但考慮到其性能,,整體設(shè)計(jì)仍較為緊湊,,在同類型產(chǎn)品中具有一定的空間優(yōu)勢。
冷卻水需求低:冷卻水流量僅需 4.0L/min,,對冷卻系統(tǒng)要求不高,,可降低運(yùn)行成本和設(shè)備復(fù)雜度。
安全可靠:符合工業(yè)安全標(biāo)準(zhǔn),,配備高安全性防護(hù)設(shè)計(jì),,能在工況下穩(wěn)定運(yùn)行。
產(chǎn)品兼容性好:支持與同系列設(shè)備協(xié)同工作,,可擴(kuò)展應(yīng)用場景,,例如可與 SDT600 或 SDX1200 等搭配使用。
應(yīng)用領(lǐng)域廣泛:適用于化工、電子 / 電池,、半導(dǎo)體制造,、實(shí)驗(yàn)室等領(lǐng)域,可用于晶圓加工,、蝕刻等關(guān)鍵工藝的真空環(huán)境控制,以及高純度實(shí)驗(yàn)環(huán)境及腐蝕性氣體處理,。
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