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KASHIYAMA日本樫山真空泵SDH6000的特點
工藝耐性強:屬于 SDH 系列,,具有 Super Hirsch 對應和工藝耐性的特點,,能適應各種復雜工藝環(huán)境。
無油干式設計:采用無潤滑油機械結(jié)構(gòu),,可避免介質(zhì)污染,,適用于超潔凈工藝環(huán)境,如半導體晶圓制造等,。
氮氣吹掃功能:支持氮氣吹掃功能,,氮氣流量可在 0 至 80SLM 范圍內(nèi)調(diào)節(jié),增強工藝靈活性,。
抽氣能力強:最大抽速可達 60,000L/min,,極限壓力為 0.5Pa,能快速有效地抽取氣體,,滿足不同應用場景的真空需求,。
高效節(jié)能:通過新型加熱器系統(tǒng)與機械結(jié)構(gòu)優(yōu)化,實現(xiàn)低功耗化,,功率為 3.7kW,。
外形尺寸較大但仍緊湊:長度為 1050mm、寬度為 515mm,,高度為 950mm,,機身相對較大,,但考慮到其性能,,整體設計仍較為緊湊,在同類型產(chǎn)品中具有一定的空間優(yōu)勢,。
冷卻水需求低:冷卻水流量僅需 4.0L/min,,對冷卻系統(tǒng)要求不高,可降低運行成本和設備復雜度,。
安全可靠:符合工業(yè)安全標準,,配備高安全性防護設計,能在工況下穩(wěn)定運行,。
產(chǎn)品兼容性好:支持與同系列設備協(xié)同工作,,可擴展應用場景,例如可與 SDT600 或 SDX1200 等搭配使用,。
應用領域廣泛:適用于化工,、電子 / 電池,、半導體制造、實驗室等領域,,可用于晶圓加工,、蝕刻等關鍵工藝的真空環(huán)境控制,以及高純度實驗環(huán)境及腐蝕性氣體處理,。
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