KASHIYAMA日本樫山真空泵MU180X的特點(diǎn)

無(wú)油潔凈：采用無(wú)油干式技術(shù),，通過(guò)精密?chē)Ш系穆輻U式 / 爪式轉(zhuǎn)子結(jié)構(gòu)實(shí)現(xiàn)氣體壓縮，全程無(wú)潤(rùn)滑油，可避免油蒸氣對(duì)工藝腔體的污染，適用于如晶圓加工等對(duì)潔凈度要求敏感工藝,。

抽速高：最大抽速可達(dá) 3000L/min，能夠快速有效地抽取氣體,，可適應(yīng)中高負(fù)載的真空需求,，滿(mǎn)足如真空鍍膜系統(tǒng)、等離子清洗設(shè)備等對(duì)抽氣速度有較高要求的設(shè)備,。

極限壓力低：極限壓力為 1.5Pa,，可獲得較高的真空度，能滿(mǎn)足一些對(duì)真空環(huán)境要求較為苛刻的工藝需求,。

耐腐蝕：轉(zhuǎn)子與腔體采用不銹鋼鍍層或陶瓷涂層,，能夠耐受酸性氣體（如 HCl、Cl?）和顆粒物,，可應(yīng)用于有腐蝕性氣體的環(huán)境,。

節(jié)能高效：配備低功耗電機(jī)，功率約 0.5kW,，運(yùn)行能效比優(yōu)于同類(lèi)產(chǎn)品,；同時(shí)采用變頻驅(qū)動(dòng)（VFD）調(diào)節(jié)轉(zhuǎn)速，能耗較油封泵可降低 30% - 50%,。

結(jié)構(gòu)緊湊：尺寸為 550×280×299mm,，重量約 95kg，占地面積小,，便于安裝在空間有限的設(shè)備中,，適合設(shè)備集成和改造項(xiàng)目。

智能控制：具有實(shí)時(shí)參數(shù)顯示功能,，可通過(guò)觸摸屏或遠(yuǎn)程接口（Modbus / 以太網(wǎng)）輸出真空度,、溫度、功耗等數(shù)據(jù),；還配備自診斷系統(tǒng),，通過(guò)振動(dòng)、溫度傳感器對(duì)異常情況（如過(guò)載或異物進(jìn)入）進(jìn)行預(yù)警,，并自動(dòng)停機(jī)保護(hù),。

維護(hù)便捷：采用模塊化結(jié)構(gòu),，簡(jiǎn)化了檢修流程,，無(wú)需復(fù)雜的拆卸和組裝過(guò)程，可降低維護(hù)成本和停機(jī)時(shí)間,。

電源適應(yīng)性強(qiáng)：電源為三相 AC200 - 220V,，50/60Hz,，能適應(yīng)多種電力供應(yīng)環(huán)境，方便在不同地區(qū)和場(chǎng)合使用,。