ULVAC愛發(fā)科離子真空計EtherCAT規(guī)格

皮拉尼真空計基于氣體熱傳導性與壓力相關(guān)的原理工作,，ULVAC 愛發(fā)科通過優(yōu)良的制造工藝與技術(shù)優(yōu)化，極大提升了測量精度,。其能夠精準測量從低真空到中真空范圍的壓力值,，精度可達滿量程的 ±1% 甚至更高 。例如在半導體制造工藝里,，對真空環(huán)境要求嚴苛,，ULVAC 愛發(fā)科皮拉尼真空計可精確反饋真空室內(nèi)的壓力變化，為諸如物理氣相沉積（PVD）,、化學氣相沉積（CVD）等工藝提供穩(wěn)定且準確的真空度數(shù)據(jù),，確保薄膜沉積的均勻性與一致性，有助于提升芯片制造的良品率與性能,。

快速響應(yīng)

該真空計具備快速的響應(yīng)特性,，能在極短時間內(nèi)感知真空系統(tǒng)內(nèi)壓力的細微變化，并及時輸出對應(yīng)的測量信號,。一般情況下,，其響應(yīng)時間可在毫秒級別，這使得操作人員能夠迅速了解系統(tǒng)內(nèi)的真空狀態(tài)變化 ,。在需要頻繁調(diào)整真空度的科研實驗或工業(yè)生產(chǎn)過程中,，快速響應(yīng)的皮拉尼真空計可以讓相關(guān)人員及時對真空設(shè)備進行調(diào)控，避免因反應(yīng)滯后導致的工藝偏差,。如在真空鍍膜過程中,，能實時監(jiān)測鍍膜腔室壓力變化，及時調(diào)整鍍膜參數(shù),，保證鍍膜質(zhì)量,。

寬量程適用

ULVAC 愛發(fā)科皮拉尼真空計覆蓋了較寬的壓力測量范圍，通?？蓮拇髿鈮阂恢睖y量至 10?3 Pa 甚至更低的真空度 ,。這種寬量程的設(shè)計使其適用于多種不同應(yīng)用場景。在食品真空包裝行業(yè),，可用于檢測包裝過程中的真空度,，從初始抽氣階段的較高壓力,，到最終密封前接近高真空的狀態(tài)，都能準確測量,；在電子半導體領(lǐng)域,，無論是芯片制造前的真空腔室準備，還是后續(xù)精密工藝過程中的真空監(jiān)測,，寬量程的皮拉尼真空計都能全程提供可靠的壓力數(shù)據(jù),。

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