中村近期發(fā)布新品日本進口USHIO牛尾分割投影光刻機UX-5系列

Ushio一直致力于為服務(wù)器,、PC、智能手機,、平板電腦等便攜設(shè)備提供先進的封裝應(yīng)用工藝。

Ushio在長年培養(yǎng)的光源·光學(xué)技術(shù)上采用獨自的大面積投影透鏡技術(shù)，是面向采用與面板尺寸對應(yīng)的工件臺面的封裝基板的步進式投影光刻設(shè)備,。

在實現(xiàn)載板所要求的高解像性和重疊精度的同時,，實現(xiàn)高生產(chǎn)性。

搭載超高壓UV燈

值得稱贊的高度均一的照射光學(xué)系統(tǒng)

為數(shù)不多的大面積投影鏡頭

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