日本NEW COSMOS新宇宙XDS-7NF傳感器

主機(jī)是便攜式半導(dǎo)體氣體檢測儀XPS-7II
目標(biāo)氣體 半導(dǎo)體氣體
檢測原理 電化學(xué),、電化學(xué)+裂解器
取樣方法 萃取
質(zhì)量 約1.3公斤
通過更換傳感器單元,，可以檢測各種半導(dǎo)體氣體,。
用于有毒氣體半導(dǎo)體工廠的氣體泄漏檢查和濃度測量,。

特點(diǎn)：
■ 世界上*小的便攜式氣體檢測儀,，用于 NF3 檢測,。無需任何可選設(shè)備即可檢測 NF3。
■ 校準(zhǔn)后的氣體傳感器單元可在現(xiàn)場更換,，減少維護(hù)工作,。
■ 大液晶屏
■ 2路電源：干電池和交流電源（可選）
■ 小巧輕便
■ 警報(bào)聲音的速度根據(jù)氣體濃度而變化。

可選測量氣體：

氨[NH3],，硅烷[SiH4],，二氯硅烷[SiH2Cl2]，砷烷[AsH3],，膦[PH3],，，硒化氫【H2Se】,，鍺烷【GeH4】,，氯[Cl2]，氯化氫【HCI】,，氫氟化物【HF],，溴化氫【HBr】，一氧化氮【NO】,，硫化氫【H2S】,，一氧化碳【CO】，二硅烷【Si2H6】,，氟【F2】,，臭氧【O3】,，三氟化氮【NO3】

日本NEWCOSMOS新宇宙XDS-7NF傳感器用于半導(dǎo)體