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日本FLUORO福樂真空吸筆專為晶圓轉(zhuǎn)移搬運(yùn)設(shè)計,，具有以下核心特性：

一,、產(chǎn)品概述

?專業(yè)適配性?：專用于半導(dǎo)體晶圓的無污染轉(zhuǎn)移,，兼容硅晶圓等各類晶片及小型物體的吸附運(yùn)輸?14,。

?模塊化設(shè)計?：可根據(jù)需求更換吸附頭（晶圓吸附頭、噴嘴或墊）,，適應(yīng)不同形狀和尺寸的運(yùn)輸對象?1,。

二,、設(shè)計特點(diǎn)

?材料性能?

?抗靜電系列?：采用傳導(dǎo)性尼龍筆身與傳導(dǎo)性PEEK吸頭，電阻率范圍為10?-10?Ω,，有效消除靜電干擾,，適用于5寸、6寸,、8寸晶圓?56,。

?防酸系列?：吸盤接頭使用鐵弗龍（Teflon）材質(zhì)，耐化學(xué)腐蝕性強(qiáng),，適用于酸蝕環(huán)境或精密器械維修?7,。

?輕量化結(jié)構(gòu)?：整體重量輕（約0.04kg），便于長時間操作且易于清潔?12,。

?操作模式差異?

?F001?：按下按鈕吸氣,，松開即釋放；適用需快速吸附的場景?13,。

?F002?：按下釋放,，松開吸附；耐高溫及化學(xué)腐蝕,，適合復(fù)雜工況?12,。

?C003?：抗靜電型，帶吸力切斷按鈕,，可手動控制吸附狀態(tài)?15,。

三、應(yīng)用場景

?半導(dǎo)體制造?：用于晶圓的無損搬運(yùn),，避免物理接觸污染?46,。

?精密工業(yè)?：如鐘表、珠寶制造,，需防靜電或耐腐蝕的精細(xì)化操作?7,。

四、配套設(shè)備

需搭配無油隔膜真空泵及抗靜電真空管線（表面電阻率103-10?Ω/cm2）,，確保系統(tǒng)無靜電累積風(fēng)險?48,。

FLUORO福樂真空吸筆通過多樣化的型號與材料選擇，滿足半導(dǎo)體及精密制造業(yè)對潔凈度,、安全性與操作效率的嚴(yán)苛需求,。