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當(dāng)前位置:> 供求商機(jī)> 日本otsuka大塚電子Smart膜厚儀
產(chǎn)品信息
特點(diǎn)
● 可攜帶至現(xiàn)場的手持式
● 可測量0.1μm單位
● 具有形狀的樣品也可非破壞的測量
● 不論基材材質(zhì),、可測量其鍍膜
測量項目
膜厚測量范圍 | 1μm~50μm |
測量重復(fù)性 | 0.01μm |
測量時間 | 1秒以下 |
Smart手持式膜厚儀與其他膜厚儀的比較
與桌上型光學(xué)膜厚儀相比,,Smart膜厚儀在“現(xiàn)場"以非破壞式直接量測樣品,,且可以量測特殊形狀樣品,。
與接觸式膜厚儀相比,Smart膜厚儀不僅不會破壞您的樣品,,也不會因?yàn)橛脩舨煌a(chǎn)生誤差且遠(yuǎn)高于接觸式膜厚計的量測精度,。
與渦電流/電磁式膜厚儀相比,,Smart膜厚儀不需要制作檢量線,且可以量測非金屬基材并且得到值,!
不需要量測經(jīng)驗(yàn),,可快速得到精準(zhǔn)的膜厚結(jié)果
規(guī)格樣式
量測原理 | 反射分光法(光干涉法)、非破壞性量測 |
膜厚量測范圍 | 1~50μm(顯示上限60μm) |
重復(fù)精度 | 2.1σ 0.01μm(SiO2膜1μm) |
量測時間 | 1秒內(nèi) |
量測層數(shù) | 1層 |
數(shù)據(jù)輸出 | 附屬操作屏幕顯示或以USB輸出Excel檔案 |
量測Spot | Φ1mm以下 |
重量 | |
約1.1kg |
選配
筆型探頭
能夠測量狹窄區(qū)域或形狀的樣品,。 探頭端Φ6mm,。
非接觸式載臺
對于濕膜或半導(dǎo)體晶圓等不想接觸的樣品,可以通過自由設(shè)定探頭位置進(jìn)行非接觸測量,。
使用場景
產(chǎn)品開發(fā)-量測試作品
1.攜帶到合作廠商等,,直接在現(xiàn)場量測效率Up
2.試作階段的檢查方法商定效率Up
產(chǎn)線-設(shè)定產(chǎn)線參數(shù)、提高良率
1.現(xiàn)場可直接量測,,無須準(zhǔn)備,量測時間短,、效率Up
2.產(chǎn)品檢查的早期階段發(fā)現(xiàn)問題,,事后的對策更加靈活
質(zhì)量管理-品管效率Up
1.現(xiàn)場可直接量測高精度量測成品,盡早發(fā)現(xiàn)不良品異狀
2.事后的對策可更加靈活
After Service-活用可攜帶的優(yōu)點(diǎn)
在產(chǎn)品出貨后的客戶端也可直接帶去量測,。
現(xiàn)場較難量測的立體物,、無法切割破壞的樣品(例如:窗戶的Coating等)。
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