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供應(yīng)簡(jiǎn)介

日本Otsuka大塚OPTM series嵌入分光膜厚儀成都藤田科技提供
用顯微微分光膜厚計(jì)OPTM series的高精度,、微小光點(diǎn),，在線提供制作晶片圖案后的微小區(qū)域測(cè)量等膜厚信息,。...

詳細(xì)介紹

日本Otsuka大塚OPTM series嵌入分光膜厚儀成都藤田科技提供

OPTM series 嵌入型日本Otsuka大塚OPTM series嵌入分光膜厚儀

產(chǎn)品信息

特　點(diǎn)

● 膜厚測(cè)量范圍1nm～92μm（換算為SiO2）

● 膜厚值高重復(fù)精度

● 1點(diǎn)1秒以?xún)?nèi)的高速測(cè)量

● 最小小點(diǎn)Φ3μm）中瞄準(zhǔn)模式

● 適合圖案晶片的膜厚映射

● 能夠取得圖案對(duì)準(zhǔn)用圖像

裝置組裝示意圖

日本Otsuka大塚OPTM series嵌入分光膜厚儀

測(cè)量數(shù)據(jù)示意圖

日本Otsuka大塚OPTM series嵌入分光膜厚儀

測(cè)量光點(diǎn)周邊圖像

日本Otsuka大塚OPTM series嵌入分光膜厚儀

適應(yīng)過(guò)程示例

CMP工藝

蝕刻工藝

成膜工藝等

產(chǎn)品規(guī)格

日本Otsuka大塚OPTM series嵌入分光膜厚儀

核心對(duì)比與OPTM優(yōu)勢(shì)：

OPTM系列：基于分光干涉法,，結(jié)合顯微光學(xué)系統(tǒng),，實(shí)現(xiàn)反射率分析,，支持超薄膜（1nm）與復(fù)雜多層結(jié)構(gòu),，技術(shù)解決透明基板干擾,。
Smart膜厚儀：側(cè)重便攜性與快速篩查，適用于常規(guī)單層膜厚測(cè)量,，但精度與功能擴(kuò)展性不及OPTM系列,。

性?xún)r(jià)比優(yōu)勢(shì)：OPTM以中型設(shè)備成本提供媲美橢偏儀的精度,，且操作門(mén)檻更低,，軟件內(nèi)置NIST校準(zhǔn)追溯，確保數(shù)據(jù)可靠性,。

微區(qū)測(cè)量能力：最小光斑直徑3μm,，搭配自動(dòng)XY平臺(tái)（200×200mm）,，實(shí)現(xiàn)晶圓、FPD（如OLED,、ITO膜）等
微小區(qū)域的精準(zhǔn)厚度分布映射,。
跨行業(yè)適用性：專(zhuān)為半導(dǎo)體（SiO?/SiN膜）、顯示面板（彩色光阻）,、DLC涂層等行業(yè)設(shè)計(jì),，支持粗糙表面、傾斜結(jié)構(gòu)及復(fù)雜光學(xué)異向性樣品的分析,。
安全與擴(kuò)展性：區(qū)域傳感器觸發(fā)防誤觸機(jī)制,，獨(dú)立測(cè)量頭支持定制化嵌入，滿足在線檢測(cè)（inline）與實(shí)驗(yàn)室研發(fā)需求,。

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