中科科儀場發(fā)射掃描電子顯微鏡
簡介
KYKY-EM8010 場發(fā)射掃描電子顯微鏡 低電壓下能夠保持較好的亮度和較高的分辨率,，標配光學導(dǎo)航功能，觀測更便捷,。
產(chǎn)品介紹
KYKYEM8010 低電壓下能夠保持較好的亮度和較高的分辨率,，束流穩(wěn)定度高、色散小,，適宜長時間的各種精確分析,，一鍵standby功能，維護更方便，軟件操作簡便,，提升用戶使用體驗,。為科研高校、生命科學,，新能源等領(lǐng)域客戶提供穩(wěn)定可靠的產(chǎn)品解決方案,。
產(chǎn)品特點
1. 1.5nm@15Kv (SE)，3nm@30kV (BSE)
2. 低加速電壓保持較好的亮度和分辨率
3. 低加速電壓不導(dǎo)電樣品可直接觀測,，無需噴金
4. 肖特基電子槍亮度高,、單色性好、電子束斑小,、壽命長
5. 束流穩(wěn)定度高,，色散小，適宜于長時間的各種精確分析
6. 一鍵standby 維護更方便
7. 具備光學導(dǎo)航,，快速樣品定位
技術(shù)指標：
分辨率 ：1.5nm@15KV（SE）,； 3nm@30KV（BSE）
放大倍數(shù)： 光學放大倍數(shù)4-100倍；電子學放大8-800000倍
電子槍： 肖特基熱場發(fā)射電子槍
加速電壓： 0.2～30kV
自動調(diào)整功能： 聚焦,，亮度/對比度,、消像散、電子束對中
探測器： 高真空二次電子探測器,；紅外CCD攝像頭,；一體化背散射探測器；光學導(dǎo)航探測器
樣品臺： 五軸全自動中型樣品臺行程： X=80mm,Y=50mm,Z=30mm,，T=-5°～+70°,R=360°
最大樣品直徑: Ф175mm,；最大樣品高度：20mm;樣品臺具有碰撞報警功能。
選配探測器： BSE,、EDS,、EBSD、CL,、EBIC等
中科科儀場發(fā)射掃描電子顯微鏡應(yīng)用領(lǐng)域
氧化亞硅
高分辨率的電子顯微鏡
場發(fā)射掃描電鏡(FESEM)是一種用于高分辨率表面形貌觀察和化學成分分析的電子顯微鏡?,。它利用二次電子成像原理，通過在低電壓下觀察生物樣品如組織,、細胞、微生物以及生物大分子等,，獲得忠實原貌的立體感強的樣品表面微形貌結(jié)構(gòu)信息?,。
FESEM具有高分辨率，能夠進行各種固態(tài)樣品表面形貌的觀察,，并且配備高性能X射線能譜儀,，可以進行樣品表層的微區(qū)點線面元素的定性、半定量及定量分析，具有形貌和化學組分綜合分析能力?,。
場發(fā)射掃描電鏡是一種高分辨率的電子顯微鏡,，其基本原理是利用電子束與樣品表面相互作用，通過探針掃描來獲取樣品表面的形貌和微觀結(jié)構(gòu)信息,。場發(fā)射掃描電鏡在納米材料,、生物醫(yī)學、電子元器件等領(lǐng)域的應(yīng)用廣泛,，可以觀察到樣品表面的微觀結(jié)構(gòu)和形貌,，對樣品的成分、形貌,、微觀結(jié)構(gòu)等進行分析,。
場發(fā)射掃描電鏡在納米材料領(lǐng)域的應(yīng)用廣泛，可以對納米材料的微觀結(jié)構(gòu)和形貌進行觀察和分析,。例如,，在納米材料的制備過程中，可以利用場發(fā)射掃描電鏡觀察到納米材料的形貌和大小,，從而對納米材料的性質(zhì)和應(yīng)用進行研究,。
場發(fā)射掃描電鏡在電子元器件領(lǐng)域的應(yīng)用主要是觀察微電子器件的微觀結(jié)構(gòu)和形貌，可以幫助工程師更好地了解微電子器件的性能和特點,。例如,，在微電子器件的制造過程中，可以利用場發(fā)射掃描電鏡觀察微電子器件的微觀結(jié)構(gòu)和形貌,，從而對微電子器件的性能和可靠性進行評估,。
綜上所述，場發(fā)射掃描電鏡憑借其好的性能和廣泛的應(yīng)用領(lǐng)域,，在科研和工業(yè)制造中發(fā)揮著越來越重要的作用,。
場發(fā)射掃描電鏡應(yīng)用領(lǐng)域
場發(fā)射掃描電鏡廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、無機非金屬材料及器件,、納米材料,、生物樣品(如組織、細胞,、微生物及生物大分子)等的檢測和分析,。
場發(fā)射掃描電鏡是一種用于材料科學領(lǐng)域的分析儀器，?它主要用于觀察和分析材料的表面形貌和微區(qū)成分,。?場發(fā)射掃描電鏡具有高分辨率,，?能夠在低加速電壓下觀察絕緣或?qū)щ娦圆畹臉悠罚?這對于研究納米材料等方向有用。?此外,，?場發(fā)射掃描電鏡還配備了X射線能譜儀,，?可以在觀察樣品表面微觀形貌的同時進行微區(qū)成分定性、?定量、?元素分布以及相分析,，?是研究納米材料等方向的有力工具,。?
在使用場發(fā)射掃描電鏡時，需要注意其運行環(huán)境條件的控制,，包括溫度,、濕度、震動,、磁場強度等因素,。同時，還需定期檢查和維護電子光學系統(tǒng),、真空系統(tǒng)等核心部件,，以確保設(shè)備的穩(wěn)定運行和長壽命。此外,，對于燈絲等易損件需及時更換并正確維護,，以避免對實驗結(jié)果的影響。
場發(fā)射掃描電鏡的特點包括：?
高分辨率：?二次電子分辨率在1.0nm至2.0nm之間,，?這有助于觀察材料的細微結(jié)構(gòu),。?
寬放大倍數(shù)范圍：?從×20至×800,000，?適應(yīng)不同尺度下的觀察需求,。?
冷陰極場發(fā)射電子源,，?提供穩(wěn)定的電子束流。?
靈活的加速電壓范圍：?從0.5kV至30kV,，?可根據(jù)樣品特性進行調(diào)整,。?
配備X射線能譜儀，?進行微區(qū)成分分析,。?
此外,，?場發(fā)射掃描電鏡還具有在低真空或充入特定氣體條件下進行觀察的能力，?這使得它能夠直接觀察含水,、?含油及不導(dǎo)電樣品,，?而無需進行特殊處理。?通過向樣品室充入水蒸氣,，?可以在不破壞樣品的情況下進行觀察,。?此外，?場發(fā)射掃描電鏡還可以對樣品進行加溫和降溫處理,，?實時觀測化學反應(yīng)過程,，?廣泛應(yīng)用于材料科學、?生命科學,、??地質(zhì),、?有機化學等多個領(lǐng)域的研究和分析。?
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