善時(shí)掃描電子顯微鏡SS-60系列
SS-60 系列產(chǎn)品作為基礎(chǔ)款臺(tái)式掃描電鏡,,能滿足大部分用戶的基本實(shí)驗(yàn)需求,,配置 SE 二次電子探測(cè)器與 BSE 背散射電子探測(cè)器,載物平臺(tái)可配置三軸(X,Y,R)手動(dòng)平臺(tái),,也可升級(jí)為五軸(X,Y,R,Z,T)自動(dòng)平臺(tái),,全系列產(chǎn)品均可配置 EDS 能譜分析儀。
掃描電子顯微鏡已廣泛用于材料科學(xué)(金屬材料,、非金屬材料,、納米材料),、冶金、生物學(xué),、醫(yī)學(xué),、半導(dǎo)體材料與器件,、地質(zhì)勘探、病蟲害的防治、災(zāi)害(火災(zāi),、失效分析)鑒定,、刑事偵察,、寶石鑒定,、工業(yè)生產(chǎn)中的產(chǎn)品質(zhì)量鑒定及生產(chǎn)工藝控制等,。
自動(dòng)/手動(dòng)掃描電鏡
掃描電鏡SS-60系列是一種用于放大并觀察物體表面結(jié)構(gòu)的電子光學(xué)儀器,。產(chǎn)品結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)簡(jiǎn)潔,高低壓真空設(shè)計(jì),,可調(diào)試電壓,,為不同樣品提供更合適的檢測(cè)環(huán)境。
概況
掃描電子顯微鏡的英文全稱為Scanning Electron Microscope,簡(jiǎn)稱掃描電鏡或者SEM,。掃描電鏡是一種用于放大并觀察物體表面結(jié)構(gòu)的電子光學(xué)儀器。掃描電鏡由鏡筒,、電子信號(hào)的收集和處理系統(tǒng),、電子信號(hào)的顯示和記錄系統(tǒng)、真空系統(tǒng)和電源系統(tǒng)等組成,具有放大倍數(shù)可調(diào)范圍寬、圖像分辨率高和景深大等特點(diǎn)。
軟件特性
臺(tái)式電鏡,體形小巧,,占用空間??;
強(qiáng)大的軟件功能,,單窗口操作界面讓用戶操作方便簡(jiǎn)單,;
軟件實(shí)現(xiàn)檢測(cè)圖形實(shí)時(shí)存儲(chǔ),;
產(chǎn)品結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)簡(jiǎn)潔,,易于維護(hù)及保養(yǎng),;
自動(dòng)平臺(tái)采用中心定位模式,迅速定位待測(cè)樣品,;
高低壓真空設(shè)計(jì),,可調(diào)試電壓,為不同樣品提供更合適的檢測(cè)環(huán)境
產(chǎn)品說明:
(1 )放大倍率是6萬倍,;
(2 )采用二次電子和背散射電子兩種探測(cè)器,;
(3)加速電壓有1KV、5KV,、10KV,、15KV、20KV,、30KV可選,,圖像分辨率高;
(4 )通過選配EDS可進(jìn)行元素成份分析;
(5 )選配冷卻臺(tái)可在無前置處理的情況下對(duì)水分進(jìn)行采樣分析;
(6 )高/低真空的配置可縮短前處理過程,;
(7 )選配CCD攝像頭可實(shí)時(shí)觀察載物臺(tái)內(nèi)部;
產(chǎn)品說明:
(1)放大倍率6萬倍(Magnification Max 60,000 X),;
(2)采用二次電子和背散射電子雙重探測(cè)器(Signal Detection: SE Detector+BSE Detector),;
(3)5kV~30kV加速電壓選擇,圖像分辨率高(Accelerating Voltage:1kV to 30kV,,High image resolution);
(4)通過選配EDS可進(jìn)行元素成份分析(EDS is optional, for component analysis),;
(5)Tilt(0~90)載物臺(tái)配置(可選擇)(Tilt Stage configuration( optional)),。
產(chǎn)品特性:
(1)臺(tái)式掃描電子顯微鏡,體型小巧,,占用空間?。?/span>
(2)強(qiáng)大的軟件功能,,單窗口操作界面,,讓用戶操作方便簡(jiǎn)單;
(3)軟件實(shí)現(xiàn)檢測(cè)圖形實(shí)時(shí)存儲(chǔ),;
(4)掃描電子顯微鏡產(chǎn)品結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)簡(jiǎn)潔,,易于維護(hù)及保養(yǎng);
(5)自動(dòng)平臺(tái)采用中心定位模式,迅速定位待測(cè)樣品,。
善時(shí)掃描電子顯微鏡SS-60系列技術(shù)參數(shù):
分辨率
15nm (30kV, SE Image)
20nm (30kV, BSE Image)
放大倍率
30~60,000 X
加速電壓
5kV to 30kV (5kV/10 kV /15kV/20kV/30 kV -5step)
圖像檢測(cè)
二次電子圖像-(SE)-Secondary Electron Image
背散射電子圖像(BSE)-Backscattered Electron Image
* Multi Detector (SE+BSE)
觀察模式
Standard Mode
Charge-up reduction mode
電子槍系統(tǒng)
燈絲類型
預(yù)對(duì)中鎢燈絲
偏壓系統(tǒng)
自動(dòng)偏壓方式
電子槍校正
手動(dòng)方式
透鏡構(gòu)成
聚光鏡
2段式磁線圈透鏡
物鏡
1段式磁線圈透鏡
探測(cè)器類型
SE Detector/ BSE Detector
載物臺(tái)系統(tǒng)
自動(dòng)或者手動(dòng)
載物臺(tái)移動(dòng)
3軸(X,,Y,R)或5軸(X,,Y,,R,Z,,T)
圖像偏移
Image shift X, Y Image Shift (±150μm)
樣品尺寸
高度40mm時(shí)直徑70mm
圖像掃描
快速掃描: 320x240 (Scan time: 0.1 sec.)
低速掃描 : 640x480 (Scan time: 3 sec.)
圖片模式1: 1280x960 (Scan time: 30sec.)
圖片模式2: 2560x1920 (Scan time: 60sec.)
圖片模式3: 5120x3840 (Scan time: 120sec.)
自動(dòng)功能
自動(dòng)啟動(dòng),,自動(dòng)聚焦,自動(dòng)亮度對(duì)比度調(diào)節(jié)
圖像存儲(chǔ)格式
BMP, JPEG, PNG,TIFF
數(shù)據(jù)顯示
放大倍率,,探測(cè)器類型,,電壓,真空模式,,Logo(Text),,Date and time,Text marker,,比例尺等
真空系統(tǒng)
高真空模式
(旋轉(zhuǎn)式機(jī)械泵)Rotary Pump/100Liters/min
(渦輪式分子泵)Turbo Molecular Pump/ 70Liters/sec
抽真空時(shí)間:3分鐘以內(nèi)
操控系統(tǒng)
鼠標(biāo)和鍵盤
PC:臺(tái)式電腦(Desk Top)
軟件
圖像文件打開,,編輯,存儲(chǔ)功能長(zhǎng)度,,面積,,角度等測(cè)量功能,設(shè)置數(shù)初始化,,圖像拍攝模式轉(zhuǎn)換,Archives, Setting(EDS)模式等
體積
設(shè)備主機(jī)-410(W)×660(D)×600(H)mm
外置真空泵-400(W)×160(D)×340(H)mm
重量
95kg
設(shè)備環(huán)境
溫度:15℃~30℃
濕度:70% or less
電源:Single phase 100~240V AC, 1kW, 50/60Hz
預(yù)對(duì)中鎢燈絲Pre Centered tungsten filament 5 pcs/box
載物臺(tái)(Sample Stage)
高度基準(zhǔn)模塊(Height standardmaster) 1ea