（1） 高穩(wěn)定度X射線源：提供測量所需的X射線，改變X射線管陽極靶材質可改變X射線的波長,，調節(jié)陽極電壓可控制X射線源的強度。

（2） 樣品及樣品位置取向的調整機構系統(tǒng)：樣品須是單晶,、粉末,、多晶或微晶的固體塊。

（3） 射線檢測器：檢測衍射強度或同時檢測衍射方向,，通過儀器測量記錄系統(tǒng)或計算機處理系統(tǒng)可以得到多晶衍射圖譜數據,。

（4） 衍射圖的處理分析系統(tǒng)：現代X射線衍射儀都附帶安裝有專用衍射圖處理分析軟件的計算機系統(tǒng),，它們的特點是自動化和智能化。

x射線的波長和晶體內部原子面之間的間距相近,，晶體可以作為X射線的空間衍射光柵,，即一束X射線照射到物體上時，受到物體中原子的散射,，每個原子都產生散射波,，這些波互相干涉,，結果就產生衍射。衍射波疊加的結果使射線的強度在某些方向上加強,，在其他方向上減弱,。分析衍射結果，便可獲得晶體結構,。對于晶體材料,，當待測晶體與入射束呈不同角度時，那些滿足布拉格衍射的晶面就會被檢測出來,，體現在XRD圖譜上就是具有不同的衍射強度的衍射峰。對于非晶體材料,，由于其結構不存在晶體結構中原子排列的長程有序,，只是在幾個原子范圍內存在著短程有序，故非晶體材料的XRD圖譜為一些漫散射饅頭峰。

X射線衍射儀是利用衍射原理,，精確測定物質的晶體結構，織構及應力,，精確的進行物相分析,，定性分析，定量分析,。廣泛應用于冶金,，石油,，化工，科研,，航空航天,，教學，材料生產等領域,。