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貨物所在地：上海上海市
更新時間：2025-02-04 21:00:07
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智能氣路控制儀是基于熱式氣體質(zhì)量流量控制器,，來進行多種氣體混合,，濃度稀釋的一種裝置?？筛鶕?jù)客戶的需求定制不同的氣體,、流量、濃度稀釋范圍，并利用軟件進行控制,。
產(chǎn)品優(yōu)勢：
? 流量監(jiān)測,、記錄 ? 自動多段進氣
? 濃度自動配比 ? 多種氣體可選
? MFC 故障監(jiān)測 ? 超壓檢測與報警處理
? 無線通訊控制（可定制） ? 手機APP監(jiān)測（可定制）
產(chǎn)品參數(shù)：
產(chǎn)品名稱 | 智能氣路控制儀 | |
項目 | 參數(shù) | 備注 |
流量范圍 | 標準四路 | 100SCCM 500SCCM 2SLM 5SLM (其他量程可定制，至大量程不超過30SLM) |
精度 | ±1%F.S. | 其他精度可選 |
響應(yīng)時間 | 2秒 | |
重復(fù)性 | 0.2%F.S. | 單路重復(fù)精度0.2%F.S. |
截止功能 | ≤0.6MPa | 標配,，位于總出氣口,，常閉截止閥 |
整機尺寸 | 490mm×500mm×200mm | 深×寬×高 |
供電電壓 | 220VAC | 100W |
單項功能 | √ | 4路標配，位于混氣前,，避免氣體返流 |
自動進氣 | √ | 4路標配,，按時間和流量自由編輯 10段數(shù)據(jù)點，3組數(shù)據(jù)切換,，任意循環(huán)（定制） 可實現(xiàn)：濃度配氣,，時間配氣，壓力配氣 |
自動報警 | √ | 標配,，自動報警,，自動關(guān)斷，實時監(jiān)控設(shè)備狀態(tài) |
數(shù)據(jù)處理 | √ | 標配,，數(shù)據(jù)記錄保存,，導出到U盤進行存儲 |
外接通訊 | 可選 | MODBUS-RTU |
漏率 | ＜1×108atm.cc /sec He | |
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