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當前位置:玉崎科學儀器(深圳)有限公司>>ULVAC愛發(fā)科>> GR60玉崎精品ULVAC愛發(fā)科多級羅茨型干泵GR系列
產(chǎn)品型號GR60
品 牌其他品牌
廠商性質(zhì)代理商
所 在 地深圳市
更新時間:2025-05-15 16:24:14瀏覽次數(shù):24次
聯(lián)系我時,,請告知來自 化工儀器網(wǎng)供應(yīng)ULVAC愛發(fā)科多級羅茨型干泵RDA系列
經(jīng)濟型ULVAC愛發(fā)科多級羅茨型干泵RDA系列
泵軸位置 | 邊立式 | 輸送介質(zhì) | 污水泵,、雜質(zhì)泵 |
---|---|---|---|
葉輪數(shù)目 | 多級 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 化工,生物產(chǎn)業(yè),能源,電氣,綜合 |
玉崎精品ULVAC愛發(fā)科多級羅茨型干泵GR系列
玉崎精品ULVAC愛發(fā)科多級羅茨型干泵GR系列
可應(yīng)用于大氣真空間反復抽氣的高負荷領(lǐng)域,,可在高負荷下持續(xù)使用,。
適用load lock室(裝載/卸載室),,可實現(xiàn)高吞吐量,。
感應(yīng)電機可通用
可以安裝防爆電機等特殊電機(可選)
采用多電壓兼容電機
空氣,、惰性氣體等潔凈氣體的真空排氣
各種成膜設(shè)備放入取出室的真空排氣
真空干燥,,真空氣體置換和真空脫泡等一般產(chǎn)業(yè)
真空氣體置換,,如真空熱隔絕和氣體填充
型號 | GR60A | GR90A | GR180A | |||||
最大排氣速度 | 50Hz | m3/h(L/min) | 62(1030) | 112(1860) | 183(3100) | |||
60Hz | m3/h(L/min) | 80(1333) | 126(2100) | 237(3850) | ||||
極限壓力 *1 | Pa | 5.0 | ||||||
最大排氣壓力(吸入圧力) | 大氣壓 | |||||||
最大排氣口壓力(排出圧力) | Pa | 1.0 ~ 大氣壓 | ||||||
吸氣口 | VG50 | VG80 | ||||||
排氣口 | NW40 | |||||||
DRP表面處理 | 〇 | |||||||
電機 | 輸出 [kW] | 2.2 | 3.7 | 7.5 | ||||
電壓 [V] | 50Hz | 200~240/380~415 | ||||||
60Hz | 200~240/380~460 | |||||||
質(zhì)量 | kg | 128 | 188 | 268 | ||||
冷卻方式 | 冷卻水 一次供給壓力 | MPa | 0.1~0.3 | |||||
冷卻水 出入口壓差 | MPa | >0.1 | ||||||
冷卻水溫度 | ℃ | 10~30 *2 | ||||||
冷卻水流量 | L/min | >5.0 | ||||||
氮氣 | 一次側(cè) 供給圧力 | MPa | 0.1~0.5 | |||||
二次側(cè) 調(diào)整圧力 *3 | MPa | 0.05 to 0.1 (運作時) | ||||||
軸 | SLM | 5.0 *4 |
*1 極限壓力是氮氣(軸封氣體)為5.0 SLM時的值。
*2 不結(jié)露,。
*3 通過調(diào)節(jié)器調(diào)節(jié)壓力計值,。
*4 氮氣(軸封氣體)的流量固定為5.0SLM。
型號 | 材質(zhì) | 表面處理 | 重量(kg) | 法蘭接口 | GR60A | GR90A | GR180A | |
消音器 | RS-01+ 套件A | SUS304 | GBB處理 | 4.1 | KF40 | 〇 | 〇 | - |
RS-01+ 套件C | SUS304 | GBB處理 | 8.3 | KF40 | - | - | 〇 |
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