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# 2024年新品發(fā)布會#
日期:2024年1月6日
時間:8:30-18:30
近期我司新推出升級了進口供應HORIBA堀場氣體濃度監(jiān)測儀IR-300
用于鼓泡供應管線的在線氣體濃度監(jiān)測器。用于原料氣體的穩(wěn)定供應,。 MOCVD(金屬有機化學氣相沉積)廣泛應用于LED制造工藝和光學器件制造工藝中,。該 MOCVD 設備采用液體/固體材料,通常使用鼓泡方法將其作為汽化氣體輸送到腔室。在該材料氣體供應線路中,,實時氣體濃度監(jiān)測對于實現(xiàn)穩(wěn)定的薄膜沉積過程非常重要,。氣體濃度監(jiān)測儀IR-300系列已安裝在MOCVD設備的原料氣供應線上,可實現(xiàn)在線高速氣體濃度監(jiān)測,。支持原料氣體的穩(wěn)定供應,。
實時監(jiān)測響應 速度和重復性跟蹤氣體濃度變化 多種校準曲線功能(可選) 最多可安裝 3 種測量氣體/滿量程濃度(=校準曲線),。 多顯示器功能 配備多顯示器,,將主機頂部的多顯示器與模式LED相結合,可現(xiàn)場檢查濃度監(jiān)測和供應線路信息,。 通訊功能 支持DeviceNet通訊及兼容數(shù)字/模擬信號的通訊方式 設計緊湊簡潔 ,,尺寸124毫米,設計緊湊,,安裝位置不受限制,。