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玉崎科學(xué)儀器(深圳)有限公司

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CS-1000HOBIBA堀場(chǎng)化學(xué)溶液監(jiān)測(cè)系統(tǒng)玉崎科學(xué)精選
參考價(jià): 9800
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產(chǎn)品簡(jiǎn)介
產(chǎn)地類別 進(jìn)口 應(yīng)用領(lǐng)域 醫(yī)療衛(wèi)生,環(huán)保,化工,生物產(chǎn)業(yè),綜合
HOBIBA堀場(chǎng)CS-1000化學(xué)溶液監(jiān)測(cè)系統(tǒng)玉崎科學(xué)精選
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產(chǎn)品介紹

HOBIBA堀場(chǎng)化學(xué)溶液監(jiān)測(cè)系統(tǒng)玉崎科學(xué)精選

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化學(xué)溶液監(jiān)測(cè)系統(tǒng)

CS-1000 型

能夠?qū)?BEOL 工藝中使用的含有微量元素的多組分化學(xué)溶液進(jìn)行濃度管理*1.

ppm 級(jí)的低濃度組分*2在化學(xué)溶液中,,無需任何預(yù)處理即可檢測(cè)到。只需在制造現(xiàn)場(chǎng)安裝整合在一個(gè)獨(dú)立機(jī)柜中的一體化系統(tǒng)即可開始使用*3.

*1 “back end of line"的縮寫,,指的是半導(dǎo)體前端工藝中的布線形成過程,。
*2 ppm = 百萬分之一。對(duì)于液體成分,,1 ppm 表示 1 升液體中存在 1 毫克的成分,。
*3 SEMI S2 認(rèn)證。

檢測(cè) PPM 級(jí)的低濃度組分

通過提高光譜儀的性能(擴(kuò)大的波長(zhǎng)范圍和更高的分辨率)并結(jié)合來自 pH 計(jì)和電導(dǎo)率計(jì)的信號(hào),,現(xiàn)在可以檢測(cè) ppm 級(jí)的低濃度成分,。

同時(shí)測(cè)量?jī)煞N不同的化學(xué)溶液

該裝置配備了兩條獨(dú)立的樣品流線。通過隔離流路,,它可以同時(shí)測(cè)量?jī)煞N不同的化學(xué)溶液,。

每六個(gè)月 4 小時(shí)的維護(hù)

配備具有自動(dòng)校準(zhǔn)功能的 pH 計(jì)。維護(hù)僅包括更換燈以及 pH 計(jì)的內(nèi)部溶液和校準(zhǔn)溶液瓶,。

產(chǎn)品名稱化學(xué)溶液監(jiān)測(cè)系統(tǒng)
CS-1000 型
測(cè)量項(xiàng)目化學(xué)濃度,、電導(dǎo)率、pH 值
測(cè)量原理吸收光譜法,、2 電極法,、玻璃電極
目標(biāo)化學(xué)品半導(dǎo)體制造工藝中使用的多組分化學(xué)溶液(詳情請(qǐng)聯(lián)系我們)
尺寸700 (W) × 610 (D) × 1640 (H) mm(不包括突出部分)
重量約 200 公斤
接液材料柜式(PFA,、PTFE)
吸光度監(jiān)測(cè)儀(PFA、PTFE,、石英,、Kalrez™)
電導(dǎo)率計(jì)(PFA、碳,、Kalrez™)
pH 計(jì) - 排水管使用(PVC,、PTFE、玻璃,、ETFE,、PEEK、烯烴樹脂,、THV,、PFA、Kalrez™,、PharMed BPT)
※Karlez™ 是 DuPont de Nemours,, Inc. 的商標(biāo)。
符合標(biāo)準(zhǔn)CE ,, KC ,, FCC 規(guī)則 Part15 , UKCA ,, SEMI S2




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