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產品介紹
HORIBA堀場微流量壓力不敏感質量流量模塊
HORIBA堀場微流量壓力不敏感質量流量模塊
D700uF
微流量壓力不敏感質量流量模塊
D700uF（Micro Flow） 專為 ≤ 5SCCM 流量應用而設計。
≤ 5SCCM 流量控制在高縱橫比工藝中一直非常關鍵,。
專用組件和新開發(fā)的內部低流量標準可實現(xiàn)低至 0.025SCCM 的高精度流量控制,。
低至 0.025SCCM 的流量控制能力
精確的調諧氣體控制，增強工藝可調性
≤ 100ms 升壓響應和 MFC 到 MFC 偏差控制
提供高生產率和更好的過程性能
內部流量計量
所有制造產品的性能可靠
狀態(tài)監(jiān)控功能
提供更多內部數(shù)據(jù),，實現(xiàn)更智能的故障預測
PFA 噴嘴具有更好的閥門關閉和耐腐蝕性
堅固耐用,，顆粒風險更低,，減少停機時間并優(yōu)化產量
