光學(xué)平臺(tái)廣泛運(yùn)用于光學(xué),、電子,、精密機(jī)械制造、冶金,、航天,、航空、航海,、精密化工和無(wú)損檢測(cè)等領(lǐng)域,，以及其他機(jī)械行業(yè)的精密試驗(yàn)儀器、設(shè)備振動(dòng)隔離的關(guān)鍵裝置中,。
隨著先進(jìn)的設(shè)備和工藝的發(fā)展,，使納米量級(jí)的測(cè)量成為可能。例如,，變相光學(xué)干涉儀測(cè)量物體的表面粗糙度,，目前可以達(dá)到1納米的分辨率。在半導(dǎo)體領(lǐng)域,，已生產(chǎn)出線寬在亞微米量級(jí)的集成電路,，提出測(cè)量準(zhǔn)確率小于50納米的精度要求。
這樣的應(yīng)用對(duì)系統(tǒng)中不同元件相關(guān)配合精度和穩(wěn)定性提出了比較高的要求,。
例如,，用顯微鏡對(duì)圖像進(jìn)行高度放大的成像系統(tǒng)，顯微鏡和照像物鏡共同決定了相紙上每點(diǎn)的圖像,。如果,，在曝光過(guò)程中光學(xué)系統(tǒng)的每一部分(照明系統(tǒng)、樣品,、顯微鏡光學(xué)系統(tǒng),、成像光學(xué)系統(tǒng)和相紙平面)都精確地一同移動(dòng)，不存在相對(duì)位移,，成像也會(huì)很清晰,。如果樣品相對(duì)物鏡產(chǎn)生了運(yùn)動(dòng)，則像就會(huì)模糊,。在光學(xué)干涉測(cè)量,、全息及運(yùn)用相似的規(guī)律時(shí)，控制相對(duì)運(yùn)動(dòng)都是很重要的,。
在一個(gè)理想的剛性體內(nèi)部(只在理論上存在),，任何兩點(diǎn)的相對(duì)位置都是不變的。也就是說(shuō),，在振動(dòng),、靜力矩或溫度變化的情況下，任何實(shí)體的尺寸和形狀都是不變的。如果所有的元件都穩(wěn)固地連接成一個(gè)理想的剛性體,，不同元件之間沒(méi)有相對(duì)位移,，系統(tǒng)的性能也會(huì)很穩(wěn)固。
理想的剛性體是不存在的?，F(xiàn)實(shí)中的系統(tǒng)只能近似的認(rèn)為是剛性的,，因此，其穩(wěn)定性就要受到多方面因素的影響,。例如外界的振源,，系統(tǒng)的重量，光學(xué)平臺(tái)的結(jié)構(gòu)等等,。
