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貨物所在地：江蘇蘇州市
所在地： 蘇州市吳江區(qū)柳胥路99號 半導
更新時間：2025-05-08 14:13:00
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高精度氣體流量計MFC300 系列氣體質量流量計/控制器，該系列采用 MEMS 流量傳感器,，自帶溫度和壓力補償,。具有響應速度快，寬量程比,、壓損小,、體積小巧安裝方式靈活的特點,。
產(chǎn)品特點
超快響應：5ms 測量響應，300ms控制響應
高重復性,，寬量程比
更小體積,，安裝方便
無需預熱，使用便捷
分階流量控制軟件,，靈活配置
技術參數(shù)
主要參數(shù)
介質要求 潔凈干燥無腐蝕性氣體
氣體種類 Air,，N2，02,，Ar,，CH4，CO2
測量和控制范圍 0.2%-100%F.S. （1:500）
準確度 ±0.5%F.S.
重復精度 ±0.5%F.S.
線性度 ±0.2%F.S.
分辨率 0.1 sccm,，0-1000 sccm;1 sccm,，1-5 slpm （0.01 sccm，0-50 sccm可選）
傳感器響應時間 5ms
控制響應時間 300ms
預熱時間 ≤1s
閥門 常閉式
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