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氫氣質(zhì)量流量控制器（MFC）是一種用于精確測量和控制氣體質(zhì)量流量的設(shè)備?,。

該設(shè)備的工作原理基于流體力學(xué)和傳熱原理，通過質(zhì)量流量傳感器測量氣體流經(jīng)管道時(shí)的壓差和溫度變化,，進(jìn)而計(jì)算出氣體的質(zhì)量流量,，并通過控制閥門調(diào)節(jié)氣體流量，使其保持在設(shè)定的范圍內(nèi)?,。

產(chǎn)品特點(diǎn)

精準(zhǔn)質(zhì)量流量測量/控制

快速響應(yīng),、高重復(fù)性

不受溫度和壓力的影響

工作壓差范圍大：0-1MPa

低壓損可選

全金屬比例閥可選

集成顯示器可選

經(jīng)濟(jì)有效的解決方案

主要參數(shù)

介質(zhì)要求   潔凈干燥氣體

氣體種類  98+氣體可選

量程  0-2，10,，20,，50，100,，300,，500 sccm

0-1,，2，5,，10,，20，30,，50,，100，200,，500slpm

測量范圍  0.5%F.S.（1:200）

控制范圍  1%-100% FS.（1:100）

準(zhǔn)確度  ±1% F.S.

重復(fù)精度  ±0.2%F.S.

線性度 ±0.2%F.S.

控制響應(yīng)時(shí)間<3 秒

預(yù)熱時(shí)間  5 min（T95）,，30 分鐘最佳

閥門  常閉式