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上海氣體質(zhì)量流量控制器廠家MFC330 系列氣體質(zhì)量流量計/控制器,，其結構包含毛細管柱式流量傳感器、旁路分流系統(tǒng),、高精度比例閥和控制系統(tǒng),。

被測氣體進入后，先通過傳感器和旁路分流系統(tǒng),。由傳感器實時測量氣體流量,、高精度比例閥動態(tài)響應快速調(diào)節(jié)氣體流量至設定值,。測量與調(diào)節(jié)流量的閉環(huán)結構，即使環(huán)境溫度變化或進出口氣壓波動,，MFC330 依然能夠保持穩(wěn)定的流量控制,。

TECHNICAL PARAMETERS

技術參數(shù)   主要參數(shù)

介質(zhì)要求  潔凈干燥氣體

氣體種類  98+氣體可選

量程  0-2，10,，20,，50，100,，300,，500 sccm

0-1，2,，5,，10，20,，30,，50，100,，200,，500slpm

測量范圍  0.5%F.S.（1:200）

控制范圍  1%-100% FS.（1:100）

準確度  ±1% F.S.

重復精度  ±0.2%F.S.

線性度  ±0.2%F.S.

控制響應時間<3 秒 預熱時間

5 min（T95），30 分鐘最佳  閥門

常閉式  機械特性