首頁 >> 供求商機
愛拓利微小氣體流量計MFC330 系列氣體質量流量計/控制器,,其結構包含毛細管柱式流量傳感器,、旁路分流系統(tǒng)、高精度比例閥和控制系統(tǒng),。
被測氣體進入后,,先通過傳感器和旁路分流系統(tǒng)。由傳感器實時測量氣體流量,、高精度比例閥動態(tài)響應快速調節(jié)氣體流量至設定值,。測量與調節(jié)流量的閉環(huán)結構,即使環(huán)境溫度變化或進出口氣壓波動,,MFC330 依然能夠保持穩(wěn)定的流量控制,。
產品特點
精準質量流量測量/控制
快速響應,、高重復性
不受溫度和壓力的影響
工作壓差范圍大:0-1MPa
低壓損可選
全金屬比例閥可選
集成顯示器可選
經濟有效的解決方案
技術參數(shù)
主要參數(shù)
介質要求 潔凈干燥氣體
氣體種類 98+氣體可選
量程 0-2,10,,20,,50,100,,300,,500 sccm
0-1,2,,5,,10,20,,30,,50,100,,200,,500slpm
測量范圍 0.5%F.S.(1:200)
控制范圍 1%-100% FS.(1:100)
準確度 ±1% F.S.
重復精度 ±0.2%F.S.
線性度 ±0.2%F.S.
控制響應時間<3 秒
預熱時間 5 min(T95),30 分鐘最佳
閥門 常閉式