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江蘇氣體質(zhì)量流量計(jì)的MFM/MFC330 系列氣體質(zhì)量流量計(jì)/控制器,，產(chǎn)品基于毛細(xì)管柱熱式原理,，主 要用于對氣體的質(zhì)量流量進(jìn)行精確測量和控制。 MFM/MFC330 系列氣體質(zhì)量流量控制器具有精度高,、重復(fù)性好、響應(yīng)速度快,、穩(wěn)定性好,、工作壓力范圍 寬、極低零漂等特點(diǎn)。模擬量和數(shù)字量等多種通訊方式可選,，內(nèi)置顯示屏可選,，操作配置靈活,。 MFM/MFC330廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造、真空鍍膜、特種材料學(xué)科、石油化工,、醫(yī)藥,、環(huán)保等行業(yè)的氣流 測量和控制。其典型的應(yīng)用場合包括: 電子工藝設(shè)備, 如擴(kuò)散,、氧化,、外延,、CVD,、等離子刻蝕、濺射,、 離子注入; 以及鍍膜設(shè)備、光纖熔煉,、微反應(yīng)裝置、混氣配氣系統(tǒng),、毛細(xì)管測量,、氣相色譜儀、光譜儀,、 質(zhì)譜儀及其它分析儀器。

標(biāo)準(zhǔn)狀況的定義 氣體質(zhì)量流量通常用標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)下的體積流量來表示,，由于標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)下氣體的密度是一個常數(shù),， 該密度乘以標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)下的體積就是質(zhì)量數(shù),。所以標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)下的體積流量就等同于質(zhì)量流量。 質(zhì)量流量單位為： SCCM： 標(biāo)準(zhǔn)毫升/分鐘,；SLPM： 標(biāo)準(zhǔn)升/分鐘 標(biāo)準(zhǔn)狀況定義為： 溫度 20℃（293.15K）,；氣壓 1 atm（101.325Kpa，760mmHg） 單位 SCCM 等同于“mL/min, 20℃, 1atm),，單位 SLPM 等同于“L/min, 20℃, 1atm) 氣體質(zhì)量流量計(jì)/流量控制器出廠通常用 N2 氮?dú)鈽?biāo)定，亦可按照用戶要求的氣體來進(jìn)行特標(biāo),。 MFC/MFM 的標(biāo)準(zhǔn)安裝方式為水平安裝,，其他安裝方式請聯(lián)系廠家獲取技術(shù)支持。

4 主要技術(shù)指標(biāo) MFC33