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MFC330 系列氣體質(zhì)量流量計/控制器,，其結(jié)構(gòu)包含毛細管柱式流量傳感器,、旁路分流系統(tǒng)、高精度比例閥和控制系統(tǒng),。

被測氣體進入后,，先通過傳感器和旁路分流系統(tǒng),。由傳感器實時測量氣體流量,、高精度比例閥動態(tài)響應(yīng)快速調(diào)節(jié)氣體流量至設(shè)定值。測量與調(diào)節(jié)流量的閉環(huán)結(jié)構(gòu),，即使環(huán)境溫度變化或進出口氣壓波動,，MFC330 依然能夠保持穩(wěn)定的流量控制。

產(chǎn)品特點

精準質(zhì)量流量測量/控制

快速響應(yīng),、高重復(fù)性

不受溫度和壓力的影響

工作壓差范圍大：0-1MPa

低壓損可選

全金屬比例閥可選

集成顯示器可選

經(jīng)濟有效的解決方案

介質(zhì)要求  潔凈干燥氣體

氣體種類  98+氣體可選

量程  0-2,，10，20,，50,，100，300，500 sccm

0-1,，2,，5，10,，20,，30，50,，100,，200，500slpm

測量范圍  0.5%F.S.（1:200）

控制范圍  1%-100% FS.（1:100）

準確度  ±1% F.S.

重復(fù)精度  ±0.2%F.S.

線性度  ±0.2%F.S.

控制響應(yīng)時間<3 秒

預(yù)熱時間 5 min（T95）,，30 分鐘最佳

閥門 常閉式

機械特性

最大工作壓力  3 MPa（30bar）

工作壓差范圍  0-1 MPa

工作溫度范圍  -20~65℃（環(huán)境和氣體）

濕度范圍  0 ~ 98%無凝露

氣路接頭類型  卡套,、VCR、快插,、快擰（可選）

氣體接觸材質(zhì)  氟橡膠,、304/316不銹鋼

密封材質(zhì)  氟橡膠 FKM

防護等級  IP40

安裝方式  水平安裝方向校準

固定孔 M4 ? 5mm

重量 0.96kg