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MFM毛細(xì)管熱質(zhì)量流量計,直接測量較低流量范圍內(nèi)的清潔氣體和混合氣體的質(zhì)量流量,。

產(chǎn)品特點

精準(zhǔn)質(zhì)量流量測量/控制

快速響應(yīng)、高重復(fù)性

不受溫度和壓力的影響

低壓損可選

集成顯示器可選

經(jīng)濟(jì)有效的解決方案

介質(zhì)要求  潔凈干燥氣體

氣體種類  98+氣體可選

量程 10,，20,，50，100,，300,，500 sccm

0-1，2,，5，10,，20,，30，50,，100,，200，500slpm

測量范圍 0.5%-100% F.S.

準(zhǔn)確度  ±0.5% F.S.

重復(fù)精度  ±0.2%F.S.

線性度  ±0.2%F.S.

分辨率  0.001 sccm（<10L/min）,，1sccm（10-50L/min）

傳感器響應(yīng)時間<1s

預(yù)熱時間  5 min（T95）,，30 分鐘最佳

• 最大工作壓力

  3 MPa（30bar）
• 工作壓差范圍

  0-1 MPa
• 工作溫度范圍

  -20~65℃（環(huán)境和氣體）
• 濕度范圍

  0 ~ 98%無凝露
• 氣路接頭類型

  快插、快擰,、卡套,、VCR（可選）
• 氣體接觸材質(zhì)

  氟橡膠、316不銹鋼
• 密封材質(zhì)

  氟橡膠 FKM
• 防護(hù)等級

  IP40
• 安裝方式

  水平安裝方向校準(zhǔn)
• 固定孔

  M4 ? 5mm
• 重量

  0.82kg