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江蘇氣體質(zhì)量流量控制器 MFC330 系列氣體質(zhì)量流量計(jì)/控制器,，其結(jié)構(gòu)包含毛細(xì)管柱式流量傳感器,、旁路分流系統(tǒng)、高精度比例閥和控制系統(tǒng),。

被測(cè)氣體進(jìn)入后,，先通過傳感器和旁路分流系統(tǒng)。由傳感器實(shí)時(shí)測(cè)量氣體流量,、高精度比例閥動(dòng)態(tài)響應(yīng)快速調(diào)節(jié)氣體流量至設(shè)定值,。測(cè)量與調(diào)節(jié)流量的閉環(huán)結(jié)構(gòu)，即使環(huán)境溫度變化或進(jìn)出口氣壓波動(dòng),，MFC330 依然能夠保持穩(wěn)定的流量控制,。

介質(zhì)要求 潔凈干燥氣體

氣體種類  98+氣體可選

量程 0-2,，10，20,，50，100,，300,，500 sccm

0-1，2,，5,，10，20,，30,，50，100,，200,，500slpm

測(cè)量范圍 0.5%F.S.（1:200）

控制范圍  1%-100% FS.（1:100）

準(zhǔn)確度  ±0.5% F.S.

重復(fù)精度  ±0.2%F.S.

線性度 ±0.2%F.S.

控制響應(yīng)時(shí)間<3 秒

預(yù)熱時(shí)間 5 min（T95），30 分鐘最佳

閥門  常閉式