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氮?dú)赓|(zhì)量流量控制器廠家MFC330 系列氣體質(zhì)量流量計(jì)/控制器，其結(jié)構(gòu)包含毛細(xì)管柱式流量傳感器,、旁路分流系統(tǒng),、高精度比例閥和控制系統(tǒng)。

被測氣體進(jìn)入后,，先通過傳感器和旁路分流系統(tǒng),。由傳感器實(shí)時(shí)測量氣體流量,、高精度比例閥動(dòng)態(tài)響應(yīng)快速調(diào)節(jié)氣體流量至設(shè)定值。測量與調(diào)節(jié)流量的閉環(huán)結(jié)構(gòu),，即使環(huán)境溫度變化或進(jìn)出口氣壓波動(dòng),， 依然能夠保持穩(wěn)定的流量控制。

氮?dú)赓|(zhì)量流量控制器廠家MFC330 系列氣體質(zhì)量流量控制器具有精度高,、重復(fù)性好,、響應(yīng)速度快、穩(wěn)定性好,、工作壓力范圍 寬,、極低零漂等特點(diǎn)。模擬量和數(shù)字量等多種通訊方式可選,，內(nèi)置顯示屏可選,，操作配置靈活。 MFM/MFC330廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造,、真空鍍膜,、特種材料學(xué)科、石油化工,、醫(yī)藥,、環(huán)保等行業(yè)的氣流 測量和控制。其典型的應(yīng)用場合包括: 電子工藝設(shè)備, 如擴(kuò)散,、氧化,、外延、CVD,、等離子刻蝕,、濺射、 離子注入; 以及鍍膜設(shè)備,、光纖熔煉、微反應(yīng)裝置,、混氣配氣系統(tǒng),、毛細(xì)管測量、氣相色譜儀,、光譜儀,、 質(zhì)譜儀及其它分析儀器。