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MFC300 系列氣體質(zhì)量流量計(jì)/控制器，該系列采用 MEMS 流量傳感器,，自帶溫度和壓力補(bǔ)償,。具有響應(yīng)速度快，寬量程比,、壓損小,、體積小巧安裝方式靈活的特點(diǎn)。

產(chǎn)品特點(diǎn)

超快響應(yīng)：5ms 測(cè)量響應(yīng),，300ms控制響應(yīng)

高重復(fù)性,，寬量程比

更小體積，安裝方便

無需預(yù)熱,，使用便捷

分階流量控制軟件,，靈活配置

主要參數(shù)

介質(zhì)要求

潔凈干燥無腐蝕性氣體

氣體種類  Air,，N2，02,，Ar,，CH4，CO2

測(cè)量和控制范圍  0.2%-100%F.S. （1:500）

準(zhǔn)確度 ±0.5%F.S.

重復(fù)精度  ±0.5%F.S.

線性度 ±0.2%F.S.

分辨率  0.1 sccm,，0-1000 sccm;1 sccm,，1-5 slpm （0.01 sccm，0-50 sccm可選）

傳感器響應(yīng)時(shí)間  5ms

控制響應(yīng)時(shí)間  300ms

預(yù)熱時(shí)間  ≤1s

閥門 常閉式