首頁 >> 供求商機
氣體流量控制器MFC300 系列氣體質量流量計/控制器，該系列采用 MEMS 流量傳感器,，自帶溫度和壓力補償,。具有響應速度快，寬量程比,、壓損小,、體積小巧安裝方式靈活的特點。
產品特點
超快響應：5ms 測量響應,，300ms控制響應
高重復性,，寬量程比
更小體積，安裝方便
無需預熱,，使用便捷
分階流量控制軟件,，靈活配置
主要參數(shù)
介質要求
潔凈干燥無腐蝕性氣體
氣體種類 Air,，N2，02,，Ar,，CH4，CO2
測量和控制范圍 0.2%-100%F.S. （1:500）
準確度 ±0.5%F.S.
重復精度 ±0.5%F.S.
線性度 ±0.2%F.S.
分辨率 0.1 sccm,，0-1000 sccm;1 sccm,，1-5 slpm （0.01 sccm，0-50 sccm可選）
傳感器響應時間 5ms
控制響應時間 300ms
預熱時間 ≤1s
閥門 常閉式
最大工作壓力 1.1 MPa（11bar）
工作壓差范圍 0-1 MPa
工作溫度范圍 0-65℃（環(huán)境和氣體）
溫度范圍 0 - 98%無凝露
氣路接頭類型 快插,、快擰,、卡套、VCR（可選）
氣體接觸材質 氟橡膠,、黃銅,、300-系列不銹鋼、硅
密封材質 氟橡膠 FKM
防護等級 IP40
安裝方式 任意方向安裝
固定孔 M4 ? 5mm
重量 0.38kg
2