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數(shù)顯氣體質(zhì)量流量計 MFM毛細(xì)管熱質(zhì)量流量計,直接測量較低流量范圍內(nèi)的清潔氣體和混合氣體的質(zhì)量流量,。

產(chǎn)品特點(diǎn)

精準(zhǔn)質(zhì)量流量測量/控制

快速響應(yīng)、高重復(fù)性

不受溫度和壓力的影響

低壓損可選

集成顯示器可選

經(jīng)濟(jì)有效的解決方案

主要參數(shù)

介質(zhì)要求

潔凈干燥氣體

氣體種類  98+氣體可選

量程   10,，20,，50，100,，300,，500 sccm

0-1，2,，5,，10，20,，30,，50，100,，200,，500slpm

測量范圍   0.5%-100% F.S.

準(zhǔn)確度  ±0.5% F.S.

重復(fù)精度  ±0.2%F.S.

線性度  ±0.2%F.S.

分辨率  0.001 sccm（<10L/min），1sccm（10-50L/min）

傳感器響應(yīng)時間<1s

預(yù)熱時間  5 min（T95）,，30 分鐘最佳

機(jī)械特性

最大工作壓力   3 MPa（30bar）

工作壓差范圍   0-1 MPa

工作溫度范圍  -20~65℃（環(huán)境和氣體）

溫度范圍   0 ~ 98%無凝露

氣路接頭類型  快插,、快擰、卡套,、VCR（可選）

氣體接觸材質(zhì)  氟橡膠,、316不銹鋼

密封材質(zhì)  氟橡膠 FKM

防護(hù)等級  IP40

安裝方式  水平安裝方向校準(zhǔn)

固定孔   M4 ? 5mm

重量   0.82kg

電氣和通訊

電氣連接接口類型   DB-9 公頭

模擬信號   0 - 5 VDC，4 - 20 mA（可定制）

輸入輸出阻抗

輸入阻抗>10MΩ,，輸出阻抗<1KΩ

模擬數(shù)據(jù)更新頻率  200Hz

數(shù)字信號  RTU （RS232， RS485）,，CAN

通信速率  9600（默認(rèn)）,，14400，19200,，38400,，56000，57600,，115200 bps（可修改）

電源  15-40 VDC,，<200 mA

顯示更新頻率  50Hz

模擬信號精度  ±0.05%F.S.