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熱式質(zhì)量流量計(jì)廠家MFC300 系列氣體質(zhì)量流量計(jì)/控制器，該系列采用 MEMS 流量傳感器,，自帶溫度和壓力補(bǔ)償,。具有響應(yīng)速度快，寬量程比,、壓損小,、體積小巧安裝方式靈活的特點(diǎn)

產(chǎn)品特點(diǎn)

超快響應(yīng)：5ms 測(cè)量響應(yīng)，300ms控制響應(yīng)

高重復(fù)性,，寬量程比

更小體積,，安裝方便

無(wú)需預(yù)熱，使用便捷

分階流量控制軟件,，靈活配置

主要參數(shù)

介質(zhì)要求  潔凈干燥無(wú)腐蝕性氣體

氣體種類   Air,，N2，02,，Ar,，CH4，CO2

測(cè)量和控制范圍   0.2%-100%F.S. （1:500）

準(zhǔn)確度  ±0.5%F.S.

重復(fù)精度  ±0.5%F.S.

線性度  ±0.2%F.S.

分辨率  0.1 sccm,，0-1000 sccm;1 sccm,，1-5 slpm （0.01 sccm，0-50 sccm可選）

傳感器響應(yīng)時(shí)間  5ms

控制響應(yīng)時(shí)間  300ms

預(yù)熱時(shí)間  ≤1s

閥門  常閉式   熱式質(zhì)量流量計(jì)廠家

     蘇州愛(ài)拓利是國(guó)內(nèi)極少數(shù)能夠自主研發(fā)生產(chǎn)高精度氣體質(zhì)量流量計(jì)和氣體質(zhì)量流量控制器的企業(yè),。其產(chǎn)品的核心部件毛細(xì)管柱式傳感器和高精度微型氣體比例閥均已實(shí)現(xiàn)國(guó)產(chǎn)化,、自研自制率100%、全制程自主可控,，其性能趕超進(jìn)口同類產(chǎn)品,。愛(ài)拓利目前已為多家重點(diǎn)大學(xué)實(shí)驗(yàn)室、科研院所,、精密分析儀器廠家,、生物制藥廠家及、環(huán)保設(shè)備及光電設(shè)備廠商提供流量計(jì)/控制器的軟硬件配套產(chǎn)品,。通過(guò)廣泛的應(yīng)用,，愛(ài)拓利流量計(jì)產(chǎn)品的先進(jìn)性,、重復(fù)性和穩(wěn)定性得到了充分的驗(yàn)證。愛(ài)拓利的愿景是成為一家在流體測(cè)控領(lǐng)域具有影響力的創(chuàng)新型企業(yè),。我們專注于擁有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán),、純國(guó)產(chǎn)化的核心零部件的開發(fā)，以期打破進(jìn)口產(chǎn)品的技術(shù)壟斷,，擺脫對(duì)進(jìn)口品牌的依賴,，大力提升先進(jìn)制程和科學(xué)儀器中國(guó)產(chǎn)化替代水平和應(yīng)用規(guī)模，致力于早日打造出高品質(zhì)且性能可靠的流體測(cè)控產(chǎn)品,，為解決我國(guó)基礎(chǔ)科學(xué)及先進(jìn)制程領(lǐng)域所面臨的“卡脖子"困境貢獻(xiàn)一份綿薄之力,。