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質(zhì)量流量控制器MFC330 系列氣體質(zhì)量流量計/控制器,，其結(jié)構(gòu)包含毛細管柱式流量傳感器、旁路分流系統(tǒng),、高精度比例閥和控制系統(tǒng)。

被測氣體進入后,，先通過傳感器和旁路分流系統(tǒng),。由傳感器實時測量氣體流量、高精度比例閥動態(tài)響應(yīng)快速調(diào)節(jié)氣體流量至設(shè)定值,。測量與調(diào)節(jié)流量的閉環(huán)結(jié)構(gòu),，即使環(huán)境溫度變化或進出口氣壓波動，MFC330 依然能夠保持穩(wěn)定的流量控制。

產(chǎn)品特點

精準質(zhì)量流量測量/控制

快速響應(yīng),、高重復性

不受溫度和壓力的影響

工作壓差范圍大：0-1MPa

低壓損可選

全金屬比例閥可選

集成顯示器可選

經(jīng)濟有效的解決方案

主要參數(shù)

介質(zhì)要求   潔凈干燥氣體

氣體種類   98+氣體可選

量程   0-2,，10，20,，50,，100，300,，500 sccm

0-1,，2，5,，10,，20，30,，50,，100，200,，500slpm

測量范圍    0.5%F.S.（1:200）

控制范圍   1%-100% FS.（1:100）

準確度   ±1% F.S.

重復精度  ±0.2%F.S.

線性度  ±0.2%F.S.

控制響應(yīng)時間<3 秒

預熱時間   5 min（T95）,，30 分鐘最佳

閥門 常閉式