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微小氣體質(zhì)量流量計(jì)MFM毛細(xì)管熱質(zhì)量流量計(jì),直接測(cè)量較低流量范圍內(nèi)的清潔氣體和混合氣體的質(zhì)量流量。

產(chǎn)品特點(diǎn)

精準(zhǔn)質(zhì)量流量測(cè)量/控制

快速響應(yīng)、高重復(fù)性

不受溫度和壓力的影響

低壓損可選

集成顯示器可選

經(jīng)濟(jì)有效的解決方案

主要參數(shù)

介質(zhì)要求   潔凈干燥氣體

氣體種類  98+氣體可選

量程    10，20,，50，100,，300,，500 sccm

0-1，2,，5,，10，20,，30,，50，100,，200,，500slpm

測(cè)量范圍  0.5%-1  00% F.S.

準(zhǔn)確度  ±0.5% F.S.

重復(fù)精度  ±0.2%F.S.

線性度 ±0.2%F.S.

分辨率 0.001 sccm（<10L/min）,，1sccm（10-50L/min）

傳感器響應(yīng)時(shí)間<1s

預(yù)熱時(shí)間 5 min（T95），30 分鐘最佳