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mfc300-熱式氣體質量流量控制器
  • mfc300-熱式氣體質量流量控制器

貨物所在地:江蘇蘇州市

地: 蘇州市吳江區(qū)柳胥路99號 半導

更新時間:2025-02-11 11:54:39

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愛拓利AITOLY是一家質量流量計和控制器的專業(yè)研發(fā)制造商,。愛拓利專注于微小流量測量與控制,,擁有自主知識產權的傳感器,、高精度比例閥等,研發(fā)生產的質量流量計及流量控制器,,在工業(yè)和科學領域已穩(wěn)定運行十數年,。目前主營產品有熱式氣體質量流量控制器MFC300 和MFC330,,皂膜流量標準裝置等。

MFC300熱式氣體質量流量控制器 系列氣體質量流量計/控制器,,該系列采用 MEMS 流量傳感器,,自帶溫度和壓力補償。具有響應速度快,,寬量程比,、壓損小、體積小巧安裝方式靈活的特點,。

熱式氣體質量流量控制器

產品特點

超快響應:5ms 測量響應,,300ms控制響應

高重復性,寬量程比

更小體積,,安裝方便

無需預熱,,使用便捷

分階流量控制軟件,靈活配置


TECHNICAL PARAMETERS
技術參數
主要參數
  • 介質要求
    潔凈干燥無腐蝕性氣體
  • 氣體種類
    Air,,N2,,02,Ar,,CH4,,CO2
  • 測量和控制范圍
    0.2%-100%F.S. (1:500)
  • 準確度
    ±0.5%F.S.
  • 重復精度
    ±0.5%F.S.
  • 線性度
    ±0.2%F.S.
  • 分辨率
    0.1 sccm,0-1000 sccm;1 sccm,,1-5 slpm (0.01 sccm,,0-50 sccm可選)
  • 傳感器響應時間
    5ms
  • 控制響應時間
    300ms
  • 預熱時間
    ≤1s
  • 閥門
    常閉式



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