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我公司自主研發(fā)的 MFC330 氣體質(zhì)量流量控制器（以下簡稱 MFC330）,，

主要用于對氣體的質(zhì)量流量進行精確測量和控制。采用優(yōu)質(zhì)的核心部件,、高 性能的處理器芯片,、智能的控制算法及簡潔直觀的操作界面，使氣體流量控 制更加精準,、穩(wěn)定和簡便,，內(nèi)置溫度和壓力傳感器，采集氣路溫度,、壓力值 外,，進一步對氣體流量控制進行溫壓補償；支持多種通訊協(xié)議,，可以方便高 效的與電腦,、PLC、工業(yè)觸摸屏,、單片機等進行通訊,；具有多氣體測量，高  精度,，高穩(wěn)定性,，極低零漂等特性。

MFC330在半導(dǎo)體和集成電路工業(yè)、特種材料學(xué)科,、化學(xué)工業(yè),、石油工

業(yè)、醫(yī)藥,、環(huán)保和真空等多種領(lǐng)域的科研和生產(chǎn)中有著重要的應(yīng)用,。其典型 的應(yīng)用場合包括:  電子工藝設(shè)備,  如擴散、氧化,、外延,、 CVD、等離子刻

蝕,、濺射,、離子注入;  以及鍍膜設(shè)備、光纖熔煉,、微反應(yīng)裝置,、混氣配氣系 統(tǒng)、毛細管測量,、氣相色譜儀及其它分析儀器,。