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| 參考價 | 4600 |
參考價：￥ 4600
MFC300
產(chǎn)地類別:國產(chǎn) 產(chǎn)品種類:質(zhì)量式 價格區(qū)間:1-5千 介質(zhì)分類:氣體 應(yīng)用領(lǐng)域:環(huán)保,食品/農(nóng)產(chǎn)品,化工,生物產(chǎn)業(yè),制藥/生物制藥
>| MFC300 | 4600元 | 100件可售 |
更新時間：2025-05-19 09:08:15瀏覽次數(shù)：61評價
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| 產(chǎn)地類別 | 國產(chǎn) | 產(chǎn)品種類 | 質(zhì)量式 |
|---|---|---|---|
| 價格區(qū)間 | 1-5千 | 介質(zhì)分類 | 氣體 |
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 環(huán)保,食品/農(nóng)產(chǎn)品,化工,生物產(chǎn)業(yè),制藥/生物制藥 |
我公司自主研發(fā)的 MFC330 氣體質(zhì)量流量控制器（以下簡稱 MFC330）,，
主要用于對氣體的質(zhì)量流量進行精確測量和控制。采用優(yōu)質(zhì)的核心部件,、高 性能的處理器芯片,、智能的控制算法及簡潔直觀的操作界面，使氣體流量控 制更加精準,、穩(wěn)定和簡便,，內(nèi)置溫度和壓力傳感器，采集氣路溫度,、壓力值 外,，進一步對氣體流量控制進行溫壓補償；支持多種通訊協(xié)議,，可以方便高 效的與電腦,、PLC、工業(yè)觸摸屏,、單片機等進行通訊,；具有多氣體測量，高 精度,，高穩(wěn)定性,，極低零漂等特性。
MFC330在半導(dǎo)體和集成電路工業(yè)、特種材料學(xué)科,、化學(xué)工業(yè),、石油工
業(yè)、醫(yī)藥,、環(huán)保和真空等多種領(lǐng)域的科研和生產(chǎn)中有著重要的應(yīng)用,。其典型 的應(yīng)用場合包括: 電子工藝設(shè)備, 如擴散、氧化,、外延,、 CVD、等離子刻
蝕,、濺射,、離子注入; 以及鍍膜設(shè)備、光纖熔煉,、微反應(yīng)裝置,、混氣配氣系 統(tǒng)、毛細管測量,、氣相色譜儀及其它分析儀器,。
產(chǎn)品特點
精準質(zhì)量流量測量/控制
快速響應(yīng)、高重復(fù)性
不受溫度和壓力的影響
工作壓差范圍大：0-1MPa
低壓損可選
全金屬比例閥可選
集成顯示器可選
經(jīng)濟有效的解決方案
主要參數(shù)
介質(zhì)要求 潔凈干燥氣體
氣體種類 98+氣體可選
量程 0-2,，10,，20，50,，100,，300，500 sccm
0-1,，2,，5，10,，20,，30，50,，100,，200，500slpm
測量范圍 0.5%F.S.（1:200）
控制范圍 1%-100% FS.（1:100）
準確度 ±1% F.S.
重復(fù)精度 ±0.2%F.S.
線性度 ±0.2%F.S.
控制響應(yīng)時間 <3 秒
預(yù)熱時間 5 min（T95）,，30 分鐘最佳
閥門 常閉式
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