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微量氣體流量計MFM毛細管熱質(zhì)量流量計,直接測量較低流量范圍內(nèi)的清潔氣體和混合氣體的質(zhì)量流量。

     產(chǎn)品特點

精準質(zhì)量流量測量/控制

快速響應,、高重復性

不受溫度和壓力的影響

低壓損可選

集成顯示器可選

經(jīng)濟有效的解決方案

技術參數(shù)  主要參數(shù)

介質(zhì)要求  潔凈干燥氣體

氣體種類  98+氣體可選

量程  10,，20，50,，100,，300，500 sccm

0-1,，2,，5，10,，20,，30,，50，100,，200,，500slpm

測量范圍  0.5%-100% F.S.

準確度  ±0.5% F.S.

重復精度  ±0.2%F.S.

線性度  ±0.2%F.S.

分辨率  0.001 sccm（<10L/min），1sccm（10-50L/min）

傳感器響應時間  <1s

預熱時間  5 min（T95）,，30 分鐘最佳