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愛拓利微小氣體流量計MFC330 系列氣體質(zhì)量流量計/控制器,，其結(jié)構(gòu)包含毛細管柱式流量傳感器、旁路分流系統(tǒng),、高精度比例閥和控制系統(tǒng),。

被測氣體進入后，先通過傳感器和旁路分流系統(tǒng),。由傳感器實時測量氣體流量,、高精度比例閥動態(tài)響應(yīng)快速調(diào)節(jié)氣體流量至設(shè)定值。測量與調(diào)節(jié)流量的閉環(huán)結(jié)構(gòu),，即使環(huán)境溫度變化或進出口氣壓波動,，MFC330 依然能夠保持穩(wěn)定的流量控制。

產(chǎn)品特點

精準質(zhì)量流量測量/控制

快速響應(yīng),、高重復(fù)性

不受溫度和壓力的影響

工作壓差范圍大：0-1MPa

低壓損可選

全金屬比例閥可選

集成顯示器可選

經(jīng)濟有效的解決方案

技術(shù)參數(shù)

主要參數(shù)

介質(zhì)要求   潔凈干燥氣體

氣體種類  98+氣體可選

量程  0-2,，10，20,，50,，100，300,，500 sccm

0-1,，2，5,，10,，20，30,，50,，100，200,，500slpm

測量范圍  0.5%F.S.（1:200）

控制范圍  1%-100% FS.（1:100）

準確度  ±1% F.S.

重復(fù)精度  ±0.2%F.S.

線性度  ±0.2%F.S.

控制響應(yīng)時間<3 秒

預(yù)熱時間  5 min（T95）,，30 分鐘優(yōu)良

閥門  常閉式

愛拓利精準流量測控AITOLY INSTRUMENTS由蘇州愛拓利電子設(shè)備有限公司及無錫愛拓利電子科技有限公司組成?？偛刻K州愛拓利位于蘇州市吳江區(qū)柳胥路99號半導(dǎo)體智能制造創(chuàng)新港,。分公司無錫愛拓利成立于2017年，位于無錫新吳區(qū)清源路20號大學(xué)科技園,。愛拓利精準流量測控AITOLY INSTRUMENTS,，專業(yè)從事氣體質(zhì)量流量測量與控制。愛拓利擁有自己的研發(fā)團隊,，具有高水平的產(chǎn)品設(shè)計,、結(jié)構(gòu)、硬件和軟件等研發(fā)能力,，是國內(nèi)少數(shù)能夠自主研發(fā)生產(chǎn)高精度氣體質(zhì)量流量計和氣體質(zhì)量流量控制器的企業(yè),，更是國內(nèi)極少數(shù)能夠自主研發(fā)生產(chǎn)氣體流量計及流量控制器核心部件（高精度氣體流量傳感器和高穩(wěn)定性微型比例閥）的氣體流量控制產(chǎn)品生產(chǎn)廠家。愛拓利質(zhì)量流量計及控制器被廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體,、光伏,、真空鍍膜、生命科學(xué),、燃料電池,、精度分析儀器、石化,、制氣,、醫(yī)療、食品,、工業(yè)自動化控制等行業(yè),。在不斷追求創(chuàng)新和突破的同時，愛拓利十分注重產(chǎn)品品質(zhì),。愛拓利有一套嚴謹科學(xué)的檢測標準和質(zhì)量控制體系,，并通過了ISO9001質(zhì)量體系認證。通過標準化生產(chǎn),，規(guī)范化管理,，愛拓利持續(xù)穩(wěn)定地向顧客提供高質(zhì)量的合格產(chǎn)品。通過多年的研發(fā),、生產(chǎn)和應(yīng)用經(jīng)驗積淀,，愛拓利先后推出了多款氣體質(zhì)量流量計和控制器。支持多種通訊協(xié)議,，氣體種類覆蓋面廣,、控制及測量精度高,、響應(yīng)速度快、性能穩(wěn)定,。