產(chǎn)地類別 |
國產(chǎn) |
產(chǎn)品種類 |
質(zhì)量式 |
價(jià)格區(qū)間 |
1-5千 |
介質(zhì)分類 |
氣體 |
應(yīng)用領(lǐng)域 |
環(huán)保,生物產(chǎn)業(yè),制藥/生物制藥,汽車及零部件,電氣 |
愛拓利微流量氣體流量計(jì)MFC330 系列氣體質(zhì)量流量計(jì)/控制器,,其結(jié)構(gòu)包含毛細(xì)管柱式流量傳感器、旁路分流系統(tǒng),、高精度比例閥和控制系統(tǒng),。
被測氣體進(jìn)入后,先通過傳感器和旁路分流系統(tǒng),。由傳感器實(shí)時(shí)測量氣體流量、高精度比例閥動(dòng)態(tài)響應(yīng)快速調(diào)節(jié)氣體流量至設(shè)定值,。測量與調(diào)節(jié)流量的閉環(huán)結(jié)構(gòu),,即使環(huán)境溫度變化或進(jìn)出口氣壓波動(dòng),,MFC330 依然能夠保持穩(wěn)定的流量控制。
愛拓利微流量氣體流量計(jì)MFC330 系列氣體質(zhì)量流量計(jì)/控制器,,其結(jié)構(gòu)包含毛細(xì)管柱式流量傳感器,、旁路分流系統(tǒng),、高精度比例閥和控制系統(tǒng)。
被測氣體進(jìn)入后,,先通過傳感器和旁路分流系統(tǒng),。由傳感器實(shí)時(shí)測量氣體流量、高精度比例閥動(dòng)態(tài)響應(yīng)快速調(diào)節(jié)氣體流量至設(shè)定值,。測量與調(diào)節(jié)流量的閉環(huán)結(jié)構(gòu),即使環(huán)境溫度變化或進(jìn)出口氣壓波動(dòng),,MFC330 依然能夠保持穩(wěn)定的流量控制,。
MFC330工作原理
產(chǎn)品特點(diǎn)
精準(zhǔn)質(zhì)量流量測量/控制
快速響應(yīng)、高重復(fù)性
不受溫度和壓力的影響
工作壓差范圍大:0-1MPa
低壓損可選
全金屬比例閥可選
集成顯示器可選
經(jīng)濟(jì)有效的解決方案
技術(shù)參數(shù) 主要參數(shù)
介質(zhì)要求 潔凈干燥氣體
氣體種類 98+氣體可選
量程 0-2,,10,,20,,50,100,,300,,500 sccm
0-1,2,,5,10,,20,,30,,50,100,,200,,500slpm
測量范圍 0.5%F.S.(1:200)
控制范圍 1%-100% FS.(1:100)
準(zhǔn)確度 ±1% F.S.
重復(fù)精度 ±0.2%F.S.
線性度 ±0.2%F.S.
控制響應(yīng)時(shí)間 <3 秒
預(yù)熱時(shí)間 5 min(T95),,30 分鐘最佳
閥門 常閉式