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熱式氣體質量流量計MFC330 系列氣體質量流量計/控制器,，其結構包含毛細管柱式流量傳感器,、旁路分流系統(tǒng)、高精度比例閥和控制系統(tǒng),。

被測氣體進入后,，先通過傳感器和旁路分流系統(tǒng)。由傳感器實時測量氣體流量,、高精度比例閥動態(tài)響應快速調節(jié)氣體流量至設定值,。測量與調節(jié)流量的閉環(huán)結構，即使環(huán)境溫度變化或進出口氣壓波動,，MFC330 依然能夠保持穩(wěn)定的流量控制,。

   產(chǎn)品特點

精準質量流量測量/控制

快速響應、高重復性

不受溫度和壓力的影響

工作壓差范圍大：0-1MPa

低壓損可選

全金屬比例閥可選

集成顯示器可選

經(jīng)濟有效的解決方案

     主要參數(shù)

介質要求  潔凈干燥氣體

氣體種類  98+氣體可選

量程  0-2,，10,，20，50,，100,，300，500 sccm

0-1，2,，5,，10，20,，30,，50，100,，200,，500slpm

測量范圍  0.5%F.S.（1:200）

控制范圍 1%-100% FS.（1:100）

準確度  ±0.5% F.S.

重復精度  ±0.2%F.S.

線性度  ±0.2%F.S.

控制響應時間  <3 秒

預熱時間  5 min（T95），30 分鐘最佳

閥門  常閉式

最大工作壓力   3 MPa（30bar）

工作壓差范圍  0-1 MPa

工作溫度范圍  -20~65℃（環(huán)境和氣體）

濕度范圍  0 ~ 98%無凝露

氣路接頭類型  卡套,、VCR,、快插、快擰（可選）

氣體接觸材質  氟橡膠,、304/316不銹鋼

密封材質  氟橡膠 FKM

防護等級  IP40

安裝方式  水平安裝方向校準

固定孔  M4 ? 5mm

重量  0.96kg