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MFC300 系列氣體質(zhì)量流量計/控制器,，該系列采用 MEMS 流量傳感器，自帶溫度和壓力補償,。具有響應(yīng)速度快,，寬量程比、壓損小,、體積小巧安裝方式靈活的特點,。

MFC300 產(chǎn)品采用單電源供電(15~40VDC)；可模擬 量和數(shù)字通訊（CAN,、RS485,、RS232）顯示和控制氣體流 量，可以直接跟本公司的 MFC 控制器配合使用,，也可以 直接連電腦通訊,，并通過數(shù)字通訊改變控制流量或通訊 設(shè)置；也可以連二次儀表顯示,；具有多氣體測量，高精 度,，高穩(wěn)定性,，極低零漂特性。

• 介質(zhì)要求

  潔凈干燥無腐蝕性氣體
• 氣體種類

  Air,，N2,，02，Ar,，CH4,，CO2
• 測量和控制范圍

  0.2%-100%F.S. （1:500）
• 準確度

  ±0.5%F.S.
• 重復(fù)精度

  ±0.5%F.S.
• 線性度

  ±0.2%F.S.
• 分辨率

  0.1 sccm，0-1000 sccm;1 sccm,，1-5 slpm （0.01 sccm,，0-50 sccm可選）
• 傳感器響應(yīng)時間

  5ms
• 控制響應(yīng)時間

  300ms
• 預(yù)熱時間

  ≤1s
• 閥門

  常閉式